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彩色套印色标光电扫描式探测系统的研制 总被引:4,自引:1,他引:3
彩色套印过程中必须检测出套色偏差并予以纠正,而彩色套印偏差的检测是通过检测邻色标的间隔从而获得的.本文报道了一种用于塑料薄膜多色套印中套色偏差检测的光电扫描式探测系统的研制.给出了其测量原理、系统构成及结果. 相似文献
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微加工中一种新型刻蚀深度实时检测系统 总被引:5,自引:2,他引:3
实现了一种新型刻蚀深度实时检测系统,整个系统对温度漂移,气体流动与外界振动等环境因素极不敏感,系统测量误差小于0.98%,实现了在真空环境下刻蚀深度的实时监视与检测,对二元光学做加工具有现实意义。 相似文献
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光学材料光学均匀性检测方法分析 总被引:2,自引:0,他引:2
光学均匀性是光学材料的重要指标,直接影响到透射光学系统的波面质量,改变系统的波相差。惯性约束聚变(Inertial Confine Fusion,ICF)激光驱动器的研制要求对材料的光学均匀性进行高精度的检测,同时兼顾洁净度要求。实验中利用斐索干涉仪实现了大口径光学材料光学均匀性的检测,并与国外检测数据进行了对比,对检测过程中的影响因素主要包括样品的厚度测量偏差及折射系数偏差进行了分析。结果表明,样品的厚度测量偏差及折射系数偏差对结果的影响较小,可以忽略。同时用两种干涉仪专用软件对大量样品测量数据进行处理,对比了不同干涉仪光学均匀性的计算结果,表明这两种情况下对光学均匀性的处理结果相符,解决了大口径光学坯件光学均匀性的检测问题。 相似文献
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针对单波长Mirau干涉显微镜存在测量范围小和2π模糊等问题,提出了多波长Mirau偏振干涉显微镜,以实现微观轮廓的大动态范围测量的和表面粗糙度等显微结构的瞬态检测。系统利用R、G、B三个单色LED光源实现多波长干涉;利用彩色偏振相机获取瞬态相移干涉条纹图,降低实时瞬态检测中复杂的环境扰动影响;利用线栅偏振片调节条纹对比度,满足不同被测对象的反射率检测要求。为验证系统方案的可行性,经过系统误差补偿校准后测量标称值为1.993 9μm的标准微米台阶,结果与标称值的偏差约为5.4 nm。利用该方法与Wyko干涉仪对金刚石车削凸面反射镜表面微观轮廓和表面粗糙度进行测量,表面粗糙度测量结果均方根值偏差为3.7 nm,验证了该系统可实现高精度的大动态范围测量。 相似文献
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根据某型号动力系统试验要求,为了保证试验产品和试验台的安全,选取代表发动机工作状态的典型参数作为自动紧急关机判断依据,通过合理设置紧急关机判别准则,基于现有Pacific 6000数据采集装置建立了改进型红线报警系统进行在线实时检测。通过对系统硬件和软件的剖析、测试,得出该系统时间响应综合滞后偏差为0~0.25s。利用信号发生器模拟发动机真实工作参数值对传感器异常检测、发动机关机故障判定、数据存贮和事后查询功能进行了综合验证,系统无漏关机和误关机现象发生,为产品及试验台的安全提供了保证。可为其它故障检测系统建立和响应时间分析提供参考。 相似文献