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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 122 毫秒
1.
介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法。该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点。为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题,构造了一套软硬件实验系统,利用该系统进行实验的结果表明:在10~100μm厚度范围,测量误差小于10%,满足实际生产需要。  相似文献   

2.
一、引言球坑仪是一种用机械方法测量固体薄膜和涂层厚度的仪器.测量的范围在0.5μ50μ之间最为合适.用这种方法测量薄膜厚度无论是透明膜或不透明膜毋须知道其薄膜的折射率或所用光波的波长,并且测得的厚度是绝对值.它既可测量光学膜亦可测量电学膜、半导体薄膜、金属膜或非金属膜的厚  相似文献   

3.
基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法   总被引:2,自引:1,他引:1  
为解决薄膜厚度的高精度测量问题,提出一种基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量新方法,利用该方法对一个实际SiO2薄膜样片进行测试,通过对所获取的干涉图进行相位解包及数据分析处理,实现对薄膜样片厚度的精确测试。结果表明:该方法具有非接触和测量精度高等优点,所测薄膜厚度的峰谷值为0.162μm,均方根值为0.043μm,为薄膜工艺的进一步研究提供了检测方法上的技术保障。  相似文献   

4.
基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一.该测量方法可获得较高的测量精度.但是在实际干涉测量中,膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系.基于薄膜干涉的基本原理,分析了光束的发散角、薄膜厚度以及光束的入射角对基于薄膜干涉测长结果的影响,这对学生正确理解基于干涉的测量原理,掌握正确的测量方法,提高测量精度具有一定的指导意义.  相似文献   

5.
薄膜厚度不仅与薄膜的电导率有关,而且与薄膜的光学性能甚至表面结构密切相关. 薄膜厚度的测量精确有助于研究薄膜的物理性能. 本文利用X射线在材料中传播的特征设计了大学物理实验室测量薄膜厚度的方法.  相似文献   

6.
本文采用多变量的误差分析方法给出光学薄膜参数对于椭偏角ψ,反射率R,入射角和吸收薄膜厚度的误差因子公式。由此便可确定出光学参数的测量精度。本文还利用误差因子与薄膜折射率,薄膜厚度和入射角的关系曲线,讨论了最佳测量条件和测量结构的选取。并且指出,在同时确定两个或多个未知参数时,不能只由可测量量随某一个参数变化的灵敏来讨论和确定此参数的测量精度。  相似文献   

7.
积分光谱法测量塑料薄膜厚度研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
在谱带朗伯定律概念的基础上,通过分析光束在透过塑料薄膜时光强所发生的变化,提出了谱带积分透过率定义并建立基于谱带积分透过率的薄膜厚度测量模型。采用不同厚度的聚丙烯薄膜作为实验对象,使用光谱仪测量了其光谱透过率。按上述模型拟合了薄膜厚度与谱带积分透过率关系式。使用500K理想黑体,分析了基于此方法研制新型宽谱带塑料薄膜厚度在线检测装置的可行性。实验结果表明:使用积分光谱法可以较高精度的测量塑料薄膜厚度。基于此方法研制的塑料薄膜厚度在线检测装置,有望解决使用双单色光对比法测薄膜厚度时存在的准确性低、通用性差的问题。  相似文献   

8.
椭偏透射法测量氢化非晶硅薄膜厚度和光学参数   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
针对多角度椭偏测量透明基片上薄膜厚度和光学参数时基片背面非相干反射光的影响问题,报道了利用椭偏透射谱测量等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备的a-Si:H薄膜厚度和光学参数的方法,分析了基片温度Ts和辉光放电前气体温度Tg的影响.研究表明,用椭偏透射法测量的a-Si:H薄膜厚度值与扫描电镜(SEM)测得的值相当,推导得到的光学参数与其他研究者得到的结果一致.该方法可用于生长在透明基片上的其他非晶或多晶薄膜. 关键词: 椭偏测量 透射法 光学参数 氢化非晶硅薄膜  相似文献   

9.
利用磁致溅射方法在玻璃基片上沉积不同厚度的铜膜。利用台阶仪、反射光谱法、四探针电阻法分别测量铜薄膜的形状膜厚、光学膜厚、电阻膜厚。总结了三种方法的测量精度、测量范围和局限性。  相似文献   

10.
张姗  吴福全  郝殿中  王海峰 《光学学报》2007,27(11):2082-2086
基于石英晶体的旋光色散原理,提出了一种测量石英晶体光轴方向厚度的光谱分析方法。利用光学矩阵方法对测量原理进行了分析,指出通过测量由两个正交的偏光镜和待测石英晶体所组成的系统的透射曲线就可以精确计算出待测石英晶体的厚度。在实验的过程中进行了误差分析,分析表明选取长的测量波段、低的扫描速度、短的响应时间和小的狭缝宽度都有利于提高测量精度,并从理论上证明所得厚度的精度高于电子数显千分尺的测量精度。利用三种不同的方法对两块不同厚度的石英晶体进行了测量,测量结果表明利用提出的方法所得厚度的精度可以达到0.1μm,与理论分析的结果相一致。  相似文献   

11.
光学材料光学不均匀性绝对测量误差分析   总被引:2,自引:2,他引:0  
李强  刘昂  高波  徐凯源  柴立群 《应用光学》2013,34(3):463-468
 绝对测量技术去除了干涉仪参考面面形误差,可实现光学材料光学不均匀性的高精度测量。对现有主要光学材料光学不均匀性绝对检测技术进行了总结比较,针对像素错位、干涉图分辨率、干涉仪测量重复性、样品厚度以及折射率测量等因素对光学不均匀性绝对检测的影响进行了实验分析。实验结果表明:干涉仪重复性是光学不均匀性测量的主要误差。样品翻转测量法、样品直接透射测量法、平行平板样品测量法3种测量方法均可实现光学不均匀性(RMS)10-8检测精度。  相似文献   

12.
This study develops a non-destructive measurement system for determining the thickness and refractive indices of birefringent optical wave plates. Compared to previous methods presented in the literature, the proposed metrology system provides the ability to measure the thickness of the birefringent optical plate in high-precision. The results show that for a commercially available birefringent optical wave plate with refractive indices of ne=1.5518, n0=1.5427 and a thickness of 452.1428 μm, the experimentally determined value for the error in the wave plate thickness measurement is just 0.046 μm. The measurement resolution of the proposed system exceeds that of the interferometer hardware itself. The proposed method provides a simple yet highly accurate means of measuring the principal optical parameters of birefringent glass wave plates.  相似文献   

13.
浓度是反映溶液性质的一个重要参数,现有的各种测量方法各有其特点。文献[1]是根据光学原理,运用显微镜调焦方法提出了测量透明材料厚度和折射率的方法;在此基础上,根据不少溶液的折射率和浓度均有定量对应关系的特点,提出测定浓度的简易方法。该测量方法有下列特点:非接触测量,采样液体少,对液体无特殊要求,适用面广,装置简单。实验结果得出,百分浓度的测量可精确到01%。用该方法同一些常规方法相比,测量误差在1%左右,能满足有关生产和工作中的使用要求。  相似文献   

14.
阐述了掠入射X射线测量薄膜厚度的条件,讨论和分析了掠入射X射线测量多层薄膜厚度的干涉原理和方法。利用双晶X射线衍射仪对多层光学薄膜的周期厚度进行了掠入射小角度测量,获得了令人满意的结果,测量值与设计值极好地吻合。  相似文献   

15.
An ingenious optical method was developed for measuring the thickness of a coating directly and in real time at a measuring frequency of a few tens of Hz. The basic optical arrangement is very simple, and consists of a semiconductor laser, two cylindrical lenses, and a silicon photodiode array or CCD camera. The range of measurable thickness is roughly between λ and 100λ, where λ is a wavelength of the laser light, and its measuring error is a few percent. The previously developed method for measuring the thin film in air, which can be analyzed theoretically, can also be applied for estimating the thickness of a coating on the substratum within an error of 2%.  相似文献   

16.
蒋天罡  李岩  张书练 《光学技术》2006,32(1):111-114
台阶高度测量是目前新提出的国际计量比对项目之一,当前的趋势是向纳米量级精度发展并尽量扩大测量范围。在分析现状和背景的基础上,大致归类了测量台阶高度的几种光学方法,着重介绍了其中绝对干涉方案的最新进展,从测量原理、测量精度以及量程等几方面比较了它们的优缺点。在此基础上提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,详细分析了方案的原理误差,得到最后的结论。  相似文献   

17.
宁悦文  胡摇  陶鑫  郝群 《应用光学》2021,42(4):698-702
光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的装调需求简化为数毫米的单片镜,简化了系统结构。透镜间距和厚度测量实验表明,间距测量误差为10 μm。  相似文献   

18.
表面微观形貌测量及其参数评定的发展趋势   总被引:7,自引:0,他引:7  
由于表面加工质量的不断提高,对微观形貌测量技术提出了更高的要求。传统触针式轮廓仪测量具有稳定、可靠、测量动态范围大等优点,但会划伤被测表面;而非接触式形貌测量技术克服了接触式测量易划伤表面的缺点,它主要包括光学散射法、各种光探针法、光学显微干涉法以及采用SEM、STM、光子隧道显微镜和原子力显微镜(AFM)来探测表面微观形貌的方法。各种测量方法均有其优点和局限性。光学测量方法由于受衍射限制,使其横向分辨率很难提高,在测量大斜率及台阶表面时,测量误差很大。而AFM被公认为是一种理想的表面微观形貌测量方法。此外,在表面微观形貌评定方面,国际上正积极探索各种三维评定参数以取代原来的二维参数。  相似文献   

19.
王婧  李双江  田石柱 《应用光学》2018,39(6):821-826
传统的动态位移测量方法属于接触式测量,常用应变式位移计直接测量结构变形,其测量精度往往取决于位移计安装情况,且测量的电信号容易受到试验环境的影响。随着光学测量技术的不断发展,基于双目立体视觉和数字图像处理技术的光学测量方法已开始应用于位移测量。为了解决传统动态位移测量的精度问题和环境对信号的干扰问题,将双目立体视觉技术应用到三层钢框架结构的振动台试验中,对结构在地震作用下的位移进行测量。研究结果表明:从位移时程和位移偏差率两方面同传统测量方法进行对比分析,光学测量方法减少了2.0 s~3.5 s的相对滞后时间,增强数据可靠性;位移偏差率最大为7.03%,最小为0.02%,均在测量误差允许范围之内,验证了光学测量位移方法在结构抗震试验中的可行性及优越性。  相似文献   

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