纳米精度外差干涉仪非线性漂移的研究

在纳米精度外差干涉仪中，由于非线性温度漂移，成为外差干涉仪实现纳米精度测量的重要误差源。本文对差动干涉仪的理论分析得出如下的结论，干涉仪中除了测量光路和参考光路以外，还存在参考光误差分量和测量光误差分量的额外光路，从而引和了干涉混叠，产生非线性漂移：１／４波片的相位延迟量误差和安装是引入非线性漂移的主要因素，其影响程度是一阶的，提高波片对加工精度，并尽量减少其级数可降低非线性漂移。     

非偏振分光镜对外差干涉仪非线性误差的影响

除了激光源、偏振分光镜（PBS）和波片等偏振器件之外,非偏振分光镜（NPBS）也是外差干涉仪中重要的非线性误差源。研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角对非线性误差的影响。采用p、s分量透射比、反射比、反射相移和透射相移共同表征NPBS的退偏效应,并逐项分析了其非线性误差模型。如果入射光束为理想线偏振光,则只有NPBS的反射相移和透射相移影响测量精度。如果入射光束存在偏振椭圆化和非正交,则NPBS的方位角、透射比和反射比、相移等参数的变化都会引入非线性误差,误差曲线的斜率受椭圆率和非正交角的影响。因此选用不同的激光源,同一个NPBS产生的非线性误差大小不同,一般可达几个纳米量级。为了实现纳米/亚纳米级精度的外差干涉测量,选择性能稳定的NPBS,特别是NPBS退偏效应与激光源输出偏振态之间的匹配非常重要。     

利用外差干涉仪的光学系统准直方法

描述了基于外差干涉仪原理的用于精密空间光学的准直方法，分析了该方法进行光学系统准直的系统误差；结果表明，只要较好地控制倾斜误差和照明光源的质量，系统误差就可以消除。实验结果说明，系统的测量误差接近探测元件的分辨率。     

在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪

一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计,使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。计大数和测小数周期相结合的外差信号处理方法,实现了大的动态测量范围和很高的测量分辩率。同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。该仪器的纵向和横向分辨率分别为０．３９ｎｍ和０．７３μｍ;自动聚焦范围为±０．５ｍｍ,在焦点±２５μｍ范围内,聚焦精度为１μｍ;８０分钟内整机稳定性：３σ＝１．９５ｎｍ。     

用激光外差干涉仪探测金属表面超声振动的实验设计

将激光外差法测量的科研成果转化为物理专业实验，设计了易于调节的激光外差干涉系统，实现了外差信号的接收，用压电超声装置代替激光超声装置，使实验系统小型化。     

CO2激光非线性四频外差探测的实验研究

本文从理论上对巳提出的四频外差探测技术作了阐述,并在实验上实现了非线性四频外差探测,得到了预期的结果.平方律放大器件是四频外差系统电信号处理的关键器件,本文对其原理作了叙述,并依此制成了一实用的器件用于本实验.     

超光谱空间外差干涉仪探测器响应误差校正

应用于大气CO2高精度探测的超光谱分辨率空间外差光谱仪,采用面阵探测器同时采集二维干涉数据。针对面阵探测器响应同时存在的非均匀性和非线性,分别分析了其对干涉数据及复原光谱的影响,指出在相同的探测器非均匀性噪声下,光谱分辨率越高复原光谱噪声越大;而非线性不但对有效光谱范围内光谱复原精度有影响,还会产生光谱截止频率外的非零值。阐述了一种多能量等级均匀辐射源的非线性及单一均匀辐射源非均匀性同时校正算法。开展了探测器响应校正实验。探测器数据校正后非均匀性从4.04%降至0.14%;干涉数据校正后复原的光谱平滑,大大降低了非均匀噪声,校正后光谱截止频率之外数据基本为零,去除了非线性影响。     

一种基于FPGA的外差干涉仪动态数据采集方法

介绍了利用现场可编程门阵列(FPGA)来实现外差干涉仪动态数据采集的信号处理方案。在这套方案中,在锁存位置计数信息的同时,还可以启动两路模拟信号的A/D转换,并将结果写入缓存,实现了动态数据的采集。     

双波长绝对距离外差干涉仪的研究

提出了一种采用双纵模稳频激光器的新型绝对距离测量外差干涉仪。该干涉仪探测两个波长各自的外差信号, 通过测量两信号的相位差, 直接测量出合成波的小数级次。指出了两波长间的相互耦合对测量精度的影响, 提出了补偿方法, 在２５ ｍ 的测量范围取得了 １４０ μｍ 的测量精度。     

探测超声微振动的激光外差干涉仪

激光超声是一项新兴的技术，可应用于非接触检测。本文作者研制的探测超声微振动的激光外差干涉仪，该装置具有结构简单，不必采用复杂的反馈回路，只要采用简单的滤波就可以消除外界环境引起的干扰，更重要的是它的测量结果与干涉仪的初相无关，为实际应用提供了很大方便。     

横向塞曼激光器理论

根据Lamb理论,对横向磁场下任意J值(能级的总角动量)的激光场的振幅和频率方程进行了具体的计算,给出任意J值以及J=1→2的一阶、三阶系数的解析式。作为结果的一个具体应用实例,成功地解释了6328?的He-Ne²⁰横向塞曼激光器的拍频调谐曲线。 关键词：     

横向塞曼激光器中非线性混频效应的理论

本文应用Lamb半经典理论,采用矢量场模型,研究了横向Zeeman激光介质的高阶非线性效应,计算了该情况下横向Zeeman激光介质的三阶极化强度和光强的解析表达式,从理论上解释了σ与π光差拍畸变以及σ与π光本身的高次谐波现象,给出了发生畸变的物理原因。 关键词：     

提高迈克尔孙干涉仪实验精度方法研究

重点讨论了迈克尔孙干涉仪测量波长和波长差实验中的误差来源和影响因素,进一步提出了解决方法和改进方案,提高了测量精度.     

七道远红外HCN激光干涉仪的数据处理和实验结果

本文用非对称Abel变换,研制了一套计算机程序,对七道远红外HCN激光干涉仪测量的信号进行数据处理,并在HT-6M托卡马克中获得了等离子体电子密度时空分布的实验结果。     

激光干涉仪应用于无导轨测距的研究

本文提出了一种使用外差激光干涉仪实现无导轨测距的方法.该方法动态跟踪测量反射镜,使测量信号不中断,实现反射镜在一定范围内的非直线运动.这样,拥有双频激光干涉仪的用户,再添置一台比较简单的跟踪装置,即可用于无导轨测距,测量精度可远高于通用测距仪,为大型设备现场组装和安装提供了新方法.本文介绍了工作原理及实验情况.     

横向Zeeman He—Ne激光器中非线性混频效应的理论

本文在文献[1]的基础上,考虑了原子速度的Maxwell分布,利用矢量场模型和Lamb半经典理论,研究了横向Zeeman He-Ne激光器中近简并四波混频效应,给出了高阶非线性项的计算公式,从理论上解释了拍频曲线畸变的物理原因。并利用计算机进行了数值求解,结果表明本文的理论预言与实验结果相符。 关键词：     

大孔径静态干涉成象光谱仪中横向剪切干涉仪的空间光线分析

介绍基于横向剪切干涉仪的大孔径静态干涉成象光谱仪的原理,用坐标变换和矢量分析的方法计算空闪光线的光程差,通过计算机仿真归纳出横向剪切干涉仪空间光线光程差的一般表达式。     

迈克尔逊干涉仪的干涉花样及调节

本较详细地讨论了迈克迩干涉仪在各种不同条件下产生的干涉条纹的性质及干涉花样。     

迈克尔逊干涉仪中补偿斜入射光的理论分析

对迈克尔逊干涉仪中补偿板补偿斜入射光的作用进行了严格的理论分析，并利用计算机算法对其进行了运算和实验现象的模拟，从理论上理解补偿板的作用有相当的参考价值。     

一种两用干涉仪的调整

本文介绍了一种迈克耳逊和法布里-珀罗两用干涉仪的结构和基本使用方法.