首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 156 毫秒
1.
利用干涉光刻技术制备LED表面微纳结构   总被引:5,自引:5,他引:0  
为了制备大面积周期性微纳米结构以提高LED的发光效率,建立了劳厄德(Lloyd)干涉光刻系统。简单分析了该干涉光刻系统的工作原理,并介绍了利用干涉曝光工艺制备一维光栅、二维点阵、孔阵列等纳米结构图形的具体实验过程。最后对纳米图形进行结构转移,制备出了金属纳米结构。实验结果表明:利用劳厄德干涉光刻系统,可以在20 mm×20 mm大小的ITO衬底上稳定制备出周期为450 nm的均匀光栅或二维点阵列图形结构,它们的占空比也是可以调节变化的。  相似文献   

2.
分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性。利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光, 对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期600 nm、高度350 nm的蜂窝状点阵,测量结果表明该系统具有很好的图形重复性和稳定性,同时降低了对于光学光路的精密性要求。  相似文献   

3.
董启明  郭小伟 《光子学报》2012,41(5):558-564
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持.  相似文献   

4.
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431 nm时,选择40 nm厚的银层,曝光深度可达200 nm,条纹周期为110 nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持.  相似文献   

5.
激光干涉光刻法制作100 nm掩模   总被引:3,自引:2,他引:1       下载免费PDF全文
 介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干涉图形对比度可能产生影响的两个参数分别进行了数值仿真,从而证明此方法的可行性和参数的优化选择。自搭干涉光刻实验系统,用257 nm的激光光源实现光刻,得到特征尺寸为100 nm的图形,再经过离子束刻蚀,最终得到周期200 nm、线宽100 nm的掩模。  相似文献   

6.
扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,其设定值与名义值之间的偏差会引起相邻扫描间的干涉条纹相位拼接误差。为获取以扫描曝光方式所制作光栅的衍射波前特征,根据步进扫描曝光的特点及动态相位锁定的工作原理,建立了扫描曝光的数学模型,给出了曝光刻线误差及曝光光栅周期的变化规律,并进行了相关实验验证。结果表明,相位锁定中周期设定误差会带来周期性的刻线误差。曝光光栅周期会随周期设定值的变化而改变,当周期设定误差较小时,曝光光栅周期等于周期设定值。对于曝光光斑束腰半径为0.9mm、曝光步进间隔为0.6mm、曝光条纹周期为555.6nm的系统参数,周期设定的相对误差小于278×10-6时,周期性的刻线误差小于1nm。若要求曝光对比度大于0.9,则周期设定的相对误差需要控制在92.6×10-6以内,周期设定值及曝光光栅周期的可变范围为102.8pm。  相似文献   

7.
利用双光束干涉,在光敏材料上制作光子晶体结构.通过改变两束光之间的夹角可以改变制备样品的周期.改变曝光次数以及两次曝光时干涉条纹的夹角可以分别得到一维、二维正方晶格以及二维三角晶格结构的光子晶体.  相似文献   

8.
基于薄层抗蚀剂的曝光模型,建立了普遍适应于表面等离子体激元光刻的抗蚀剂曝光模型.选用AZ1500和AR3170两种抗蚀剂对表面等离子体激元干涉光刻曝光显影过程进行计算对比,获得表面等离子体激元光刻显影的最终轮廓.由此得出工艺优化的条件,对表面等离子体激元光刻的进一步工作和实验开展有着重要的意义.  相似文献   

9.
SPPs光刻曝光显影模拟研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
基于薄层抗蚀剂的曝光模型,建立了普遍适应于表面等离子体激元光刻的抗蚀剂曝光模型.选用AZ1500和AR3170两种抗蚀剂对表面等离子体激元干涉光刻曝光显影过程进行计算对比,获得表面等离子体激元光刻显影的最终轮廓.由此得出工艺优化的条件,对表面等离子体激元光刻的进一步工作和实验开展有着重要的意义.  相似文献   

10.
戴隆贵  禤铭东  丁芃  贾海强  周均铭  陈弘 《物理学报》2013,62(15):156104-156104
本文介绍了一种简单高效的制备硅纳米孔阵结构的方法. 利用激光干涉光刻技术, 结合干法和湿法刻蚀工艺, 直接将光刻胶点阵刻蚀为硅纳米孔阵结构, 省去了图形反转工艺中的金属蒸镀和光刻胶剥离等必要步骤, 在2英寸的硅 (001) 衬底上制备了高度有序的二维纳米孔阵结构. 利用干法刻蚀产生的氟碳有机聚合物作为湿法刻蚀的掩膜, 以及在干法刻蚀时对样品进行轻微的过刻蚀, 使SiO2点阵图形下形成一层很薄的硅台面, 是本方法的两个关键工艺步骤. 扫描电子显微镜图片结果表明制备的孔阵图形大小均匀, 尺寸可控, 孔阵周期为450 nm, 方孔大小为200–280 nm. 关键词: 激光干涉光刻 纳米阵列 刻蚀 氟碳有机聚合物  相似文献   

11.
场发射冷阴极微栅孔阵列制备技术   总被引:1,自引:1,他引:0       下载免费PDF全文
实现了一种采用聚苯乙烯纳米球自组装技术和微机械制造技术加工的场发射阴极用亚微米栅极微孔阵列。设计了一套完整的工艺实验方案,首先采用微球自组装技术获得了亚微米级金属网孔掩膜,然后通过反应离子刻蚀技术获得了亚微米栅极孔阵列,从而实现了集成度高、分布均匀的周期性亚微米孔洞阵列的制备,微孔集成度达到108cm-2。实验研究了氧气刻蚀聚苯乙烯微球的规律。采用金属掩膜,四氟化碳干法刻蚀二氧化硅,获得了深度为500 nm的微孔。实验结果证明该工艺方案是一种获得大面积、均匀分布、集成度高的场发射冷阴极栅孔阵列的有效方法。  相似文献   

12.
High throughput and low cost fabrication techniques in the sub-micrometer scale are attractive for the industry. Laser interference lithography (LIL) is a promising technique that can produce one, two and three-dimensional periodical patterns over large areas. In this work, two- and four-beam laser interference lithography systems are implemented to produce respectively one- and two-dimensional periodical patterns. A high-power single pulse of ∼8 ns is used as exposure process. The optimum exposure dose for a good feature patterning in a 600 nm layer of AZ-1505 photoresist deposited on silicon wafers is studied. The best aspect ratio is found for a laser fluence of 20 mJ/cm2. A method to control the width of the sub-micrometer structures based on controlling the resist thickness and the laser fluence is proposed.  相似文献   

13.
亚微米结构的可见光聚合全息制作   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
报道用激光全息技术结合可见光光聚合制作周期结构的方法和物理机理;对多束激光相干产生的空间干涉光场进行了讨论;提供了一组激光束的偏振态的最佳组合,使激光全息技术制作理想的亚微米单晶结构更有效和快捷.分析了曝光量与制作效果的关系,此法可实现小球自排无法实现的大幅度占空比调节.与紫外光光聚合相比,可见光光聚合可在监视下调节,操作方便安全. 关键词: 激光全息技术 光学晶格 光子晶体  相似文献   

14.
微纳粒子光学散射分析   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
付成花 《物理学报》2017,66(9):97301-097301
为实现利用光学方式对微纳尺度粒子性质的研究,探讨了亚微米线及亚微米球对光电磁波的散射效应.微纳米尺度粒子的光学散射,散射粒子尺寸与入射光波长尺寸可满足米氏(Mie)散射条件.利用Matlab数值模拟的方式,将分析结果以模拟图的形式清晰地展现出来.满足尺寸条件的层状粒子以及任意多个散射粒子存在时对电磁波的散射都可采用Mie散射分析方法,并且针对多粒子散射,分析了散射体位于不同位置时对散射造成的影响.通过分析光学散射光场相关的微分散射截面及近场散射电磁场分布,可得出散射光场随散射角度的变化趋势,以及散射光场受各类因素的影响,包括入射光偏振态、散射粒子尺寸、散射粒子结构及粒子构成层数、散射粒子数量等的影响,也包括一些隐含因素对散射光场的影响,如散射粒子与周围介质的相对折射率.本文的科学意义体现在:与入射光波长尺寸可比的亚微米尺度的粒子,可用作传感器,对于其位移的探测可通过光学方式来实现,而由于粒子本身特性对散射光的影响具有一定的参考价值,从而使通过光学方式对机械位移的读出具有更高准确度.研究结果对于光学方式探测亚微米线机械振动具有指导意义.  相似文献   

15.
焦悦  陶海岩  季博宇  宋晓伟  林景全 《物理学报》2017,66(14):144203-144203
利用纳米粒子辅助对飞秒激光能量进行空间局域化,使其在基底表面诱导产生纳米尺度的近场增强,这对超衍射极限微结构加工具有重要意义.目前对于粒子阵列诱导飞秒激光纳米孔加工的研究仅限于金属Au粒子及低折射率聚苯乙烯介电粒子等,本文提出并开展了应用高折射率TiO_2介电粒子阵列作为辅助诱导激光近场增强从而进行飞秒激光超衍射纳米孔加工的研究.对TiO_2介电粒子阵列在Si,Pt及SiO_2表面的近场强度分布进行了数值模拟,研究其基底表面近场增强的规律及物理过程.研究结果发现,使用硅基底时,阵列与单一TiO_2球形粒子相比其近场增强仅下降约30%;相对于入射激光强度而言,在直径约为100nm的空间范围内获得140倍的近场增强,这一现象可用于百纳米孔的激光加工.同时在其他典型基底的理论计算结果中也表明,几乎在所有金属及介电材料表面均可以实现良好的百纳米空间范围内的近场增强,并且具有近场随着基底折射率变大而增强的规律.这些现象的产生归因于TiO_2粒子中磁四极振荡产生的激光前向场增强及粒子与基底的耦合作用.进一步引入镜像电荷模型对基底光学参数对其表面近场增强的影响规律进行了分析和解释.本文的模拟结果对飞秒激光近场超衍射极限纳米加工的应用有着重要的意义.  相似文献   

16.
FePt dot arrays with dot size down to 15 nm are fabricated by film annealing and patterning. The array coercivity shows an increase with dot size decreasing from 100 to 30 nm, and a slight reduction for the 15 nm dot sample. Annealing these dot arrays at higher temperatures results in large enhancements in the coercivities, except the 15 nm dot array where the coercivity increases a little. Micromagnetic models of a 15 nm FePt dot with uniform and nonuniform edges of soft magnetic defects and with inside defects are calculated to reveal the microstructure origins of the dot magnetic properties. It is found that the volume fraction of the L10-phase FePt with perpendicular c-axis orientation is about 50% in the dot and the switching field distribution of the dot array can be influenced significantly by the defect arrangement in the dots.  相似文献   

17.
The extraordinary optical transmission(EOT) phenomenon of nano-periodic aperture array in metallic film has been widely investigated and used in biosensors. The surface plasmon resonance and cavity mode in some periodic nanostructures, such as nanohole and nanoslit, cause EOTs at certain wavelengths. This resonance wavelength is sensitive to the refractive index on the surface of periodic nanostructures. Therefore, the metallic nanostructures are expected to be good sensing elements. The sensing performances of gold nanoslit arrays are experimentally and theoretically investigated.Three-dimensional finite difference time domain(FDTD) simulations are utilized to explore their transmission spectra and steady-state field intensity distributions. The electron beam evaporation, electron beam lithography, and ion milling are applied to the gold nanoslit arrays with different widths and periods. The sensing performances of the gold nanoslit array are characterized via transmission spectra in four kinds of refractive index samples. The highest sensitivity reaches726 nm/RIU when the width of the gold nanoslit array is 38.5 nm.  相似文献   

18.
In industry, many applications of planar mechanisms such as slider-crank mechanisms have been found in thousands of devices. Typically due to the effect of inertia, these elastic links are subject to axial and transverse periodic forces. Vibrations of these mechanisms are the main source of noise and fatigue that lead to short useful life and failure. Hence, avoiding the occurrence of large amplitude vibration of such systems is of great importance. Recently, the use of specified materials, which are periodically embedded into structures, to satisfy designing requirement has been the subject of many interests. Therefore, the objective of this paper is to present analytical and numerical methodologies to study the dynamics of a slider-crank mechanism with an axially periodic array non-homogeneous coupler; the proposed passive system is introduced to reduce the region of parametric resonance of the mechanism. The Fourier-series based approach and Newtonian mechanics are employed in the analysis. An attention is given to the influence produced by the in-homogeneity of materials of the periodic array to the primary region of dynamic instability of the system.Result of present study indicates that under the same operational condition, the commensurability between the natural frequency of the mechanism and the excitation frequency can be weakened by varying the material properties of the periodic array. The in-homogeneity of materials of the periodic array can be treated as a tuning parameter of the natural frequency of the slider-crank mechanism. With proper choice of the material properties and thickness of the embedded laminas of the periodic array, the occurrence of parametric resonance can be suppressed such that the growth of small amplitude vibration into large motion regime is attenuated.  相似文献   

19.
门聪  王江  秦迎梅  魏熙乐  车艳秋  邓斌 《中国物理 B》2011,20(12):128704-128704
We develop a model of CA3 neurons embedded in a resistive array to mimic the effects of electric fields from a new perspective. Effects of DC and sinusoidal electric fields on firing patterns in CA3 neurons are investigated in this study. The firing patterns can be switched from no firing pattern to burst or from burst to fast periodic firing pattern with the increase of DC electric field intensity. It is also found that the firing activities are sensitive to the frequency and amplitude of the sinusoidal electric field. Different phase-locking states and chaotic firing regions are observed in the parameter space of frequency and amplitude. These findings are qualitatively in accordance with the results of relevant experimental and numerical studies. It is implied that the external or endogenous electric field can modulate the neural code in the brain. Furthermore, it is helpful to develop control strategies based on electric fields to control neural diseases such as epilepsy.  相似文献   

20.
金属异质波导阵列中的表面等离激元传播特性   总被引:3,自引:2,他引:1  
周林  朱永元 《光学学报》2008,28(6):1047-1050
提出了一种新的一维金属异质波导阵列的设计方案,即波导芯区周期调制的金属波导阵列.数值模拟的结果表明,金属波导芯区的周期调制引起波导中传播的表面等离激元有效折射率的周期调制,从而可在特定的波段打开一个表面等离激元带隙(如1550nm附近).通过引入合适的缺陷波导单元,可获得特定波长的高品质因子(Q=556)的表面电磁模共振.这一结果可用于设计亚波长的布拉格反射器、光发射器、滤波器等,有可能被用于未来的集成光路.  相似文献   

设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号