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<正> 引言光学零件表面疵病检查仪是用来定量检测光学零件表面疵病的仪器(以下简称疵病检查仪)。它的工作原理是将He-Ne激光器发出的光束经扩束和聚焦,使光束焦点落在被测透镜表面上,聚焦光点由透镜中心向边缘作螺旋扫描。当光点遇到划痕或斑点时产生脉冲信号,累计脉冲的宽度就可实现对表面疵病的自动检测。从已收集到的资料,我们知道国外的同类仪器和国内正在研制的仪器其电气控制部分均是 相似文献
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<正> 《光学零件表面疵病标准》(GB1185--74)是光学零件生产的一项很重要的标准,每个光学工人及检验员每天都要和它打交道,本文将对该标准的不足之处做一分析并提出补救的办法。 相似文献
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<正> 光学零件表面疵病标准是光学零件生产的一项基础标准,我国“光学零件表面疵病标准”(GB1185—74)采用目视主观评定检验方法,在生产实践中常常发生争议,其原因大致有: 1.对疵病尺寸的主观估计误差,引起对表面疵病等级评定的争论; 2.标准中规定不够明确,易产生似是而非的理解。 相似文献
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提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性. 相似文献
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相干滤波成像系统测量光学元件表面疵病 总被引:1,自引:0,他引:1
本文利用相干高通滤波成像系统对光学元件表面疵病进行了测量 ,提出了等效疵病面积的概念及计算公式 ,由等效疵病面积可计算出与 GB1185 - 89对应的疵病等级 J。实验装置的分辨率为 10μm,并具有可靠的表面疵病等级评价 相似文献
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球面光学元件由于其光学结构的影响,采用机器视觉的方法对其表面疵病进行检测时,无法将被测面都成像在一个像平面上并且在成像的过程中丢失了疵病的三维信息,造成了检测的误差。为了解决这些问题,提出了一种机器视觉与三维重构相结合的检测方法。首先,根据球面光学元件的特性设计了图像采集平台,以获得高质量的疵病图像。然后,通过图像处理算法对疵病图像进行预处理与疵病识别。最后,基于计算机视觉图像重构技术与球心投影技术,对疵病图像进行三维重构。实验表明,该方法提升了机器视觉对球面光学元件表面疵病检测的精度,可达99%,具有可行性和研究价值。 相似文献
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为了研究精密光学元件表面微弱疵病的散射特性,基于矢量散射理论和双向反射分布函数,建立了光学表面微弱疵病的散射理论模型。通过仿真计算了双向反射分布函数随散射角的变化情况,分析了入射角度、入射光波长以及疵病自身尺寸等因素对疵病散射光特性的影响。基于仿真数据分析,针对光源参数对散射特性的影响进行仿真分析,为使用暗场成像法进行精密表面疵病检测的系统参数选择提供理论参考,疵病检测入射角范围为30°~50°最佳;在可见光范围内时,380~500 nm的波长范围更有利于疵病检测。另外还通过研究疵病尺寸发生改变时散射场变化的规律,为分辨疵病的形状大小等信息提供了参考依据。 相似文献
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精密光学元件在加工过程中如果工艺控制不当,产生的划痕、麻点等疵病分布范围虽然较小,但对整个光学系统的性能影响却很大,破坏力非常强,目前的表面疵病检测仪基本上针对平面或球面光学元件进行离线检测。文章以光学加工机床为运动平台,采用暗场散射成像方法,设计多光束均匀照明系统,研究表面疵病微细特征的识别算法,实现大口径光学表面疵病的在位检测与评价;标定结果表明,表面疵病宽度偏差为2.05%,长度偏差为2.39%,满足指标要求;在此基础上针对Φ280 mm平面硅镜进行自动化在位检测,给出了不同类型疵病的统计数据,解决了离线检测中非加工时间长与多次装夹引起定位误差等问题。 相似文献
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精密光学元件表面疵病的人工检测分类方法效率低,且准确率易受疲劳等人工因素影响,而基于传统机器学习方法的分类准确率有待进一步提高。提出了一种基于深度学习卷积神经网络的光学大尺寸元件表面疵病识别方法。首先,通过现场实验采集并整理了大尺寸镜面疵病样本;接着,基于单通道灰度图像构建融合梯度的三通道图像,挖掘更深入的特征表达;最后,基于经典的LeNet网络,提出了面向激光惯性约束聚变(ICF)的光学元件表面疵病识别网络ICFNet,该网络不需要复杂的手工特征设计和提取,仅使用原始灰度图像就实现高效的疵病识别。实验结果表明:针对包含麻点、划痕和灰尘的三类疵病数据,ICFNet相较于使用多项特征和支持向量机的传统方法拥有较好的分类准确率。 相似文献
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