物理汽相沉积薄膜的微结构和内应力

文章综述的内容为：（１）物理汽相沉积（ＰＶＤ）薄膜的微结构；（２）ＰＶＣＤ薄膜的内应力；（３）膜的微结构和内应力的关系，着重介绍制备参数对结构、内应力和再会得之间的主要联系的影响，提出了确立两者的联系还需进一步研究的问题和优化微结构和内应力的一个途径－－梯度膜。     

微波ECR等离子体辅助物理汽相沉积技术

微波电子回旋共振（ＥＣＲ）能够在低气压下产生高密度、高电离度的等离子休．这种等离子体是离子镀最合适的等离子体源，可广泛地应用于等离子体沉积薄膜和表面处理的新工艺，生产高质量的各种金属薄膜、氮化物膜，碳化物膜、氧化物膜、硅化物膜及其他化合物膜．本文着重介绍微波ＥＣＫ等离子体辅助物理汽相沉积（ＥＣＲＰＰＶＤ）技术．     

可溶性钒氧酞菁在不同介质中的吸收光谱研究

研究了四丙基取代钒氧酞菁（Ｐｒ４ＶＯＰｃ）在不同介质中的吸收光谱。Ｐｒ４ＶＯＰｃ分子在不同介质中的吸收光谱差别很大：在稀溶液中以分子的单体吸收为主（λｍａｘ＝７０７ｎｍ），在浓溶液和ＰＭＭＡ薄膜中由于形成平行排列结构的二聚体而使分子单体的吸收峰发生蓝移（λｍａｘ＝６６０ｎｍ），在蒸发膜中则由于形成斜交结构的二聚体使得分子单体的吸收峰发生分裂形成红移和蓝移峰（λｍａｘ＝７２０ｎｍ，６６０ｎｍ），在溶液沉积的固态薄膜中由于形成结晶相Ｉ而表现出强烈的近红外吸收（λｍａｘ＝８２６．９ｎｍ）。造成这种差别的原因是四个丙基的引入加大了ＶＯＰｃ分子的空间位阻效应。通过热处理或溶剂蒸汽处理，可以使Ｐｒ４ＶＯＰｃ蒸发膜转变成具有强近红外吸收的结晶相Ｉ；而只有通过溶剂蒸汽处理才能使ＰＭＭＡ介质中的Ｐｒ４ＶＯＰｃ转变成结晶相ＩＩ。     

溶剂处理对Pr4VOPc染料掺杂聚合物薄膜光谱的影响

制备了Ｐｒ４ＶＯＰｃ染料掺掺杂的聚合物ＰＭＭＡ（ＤＩＰ）薄膜。Ｐｒ４ＶＯＰｃ在染料掺杂聚合物薄膜形成阶段形成玻璃态Ⅰ，经有机溶剂蒸汽处理后，Ｐｒ４ＶＯＰｃ形成了热力学更稳定的相Ⅱ。     

改建CVD系统制备金刚石薄膜

用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积（ＣＶＤ）系统,并用以制备了金刚石薄膜,讨论了用ＣＶＤ方法制备金刚石膜作了一个新的现代化物理学实验的优点。     

高质量GaN外延薄膜的生长

综述了高质量ＧａＮ外延薄膜的生长研究工作的最新重要进展．主要采用的新工艺为：在较低温度下生长ＧａＮ缓冲层后再高温生长ＧａＮ外延薄膜,双气流金属有机化合物气相沉积（ＭＯＣＶＤ）,以及用开有窗口的ＳｉＯ２膜截断穿过位错后横向覆盖外延生长（ｅｐｉｔａｘｉａｌｙｌａｔｅｒａｌｏｖｅｒｇｒｏｗｔｈ）．Ｘ射线衍射和高分辨电镜研究证实,上述工艺使ＧａＮ外延薄膜质量得到显著提高．利用这种薄膜研制成的蓝色激光管即将投放市场．     

高成品率台阶结DC—SQUIDs磁强计

我们在ＳＴＯ台阶基片上，采用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）和直流磁控溅射法制备出ＹＢＣＯ外延超导薄膜，采用普通的光刻技术得到ＤＣＳＱＵＩＤ图形．器件的ＩＶ曲线具有ＲＳＪ模型描述的上翘特征；三角波调制幅度峰峰值大于４μＶ，磁场灵敏度优于１ｐＴ／Ｈｚ（白噪声区）；９个不同基片上的样品磁通锁定的成品率达到６７％．     

铁电薄膜底电极对薄膜结构与电性能的影响

研究了电极材料（Ｐｔ／Ｔｉ）对铁电ＰＬＺＴ（７．５／６５／３５）陶瓷薄膜结构和性能的影响．认为在Ｐｔ层厚度一定时，Ｔｉ层的厚度对铁电薄膜的结构和性能有显著影响．当Ｔｉ层过厚或过薄时，铁电薄膜的结构较差；而当Ｔｉ层的厚度适中时，则铁电薄膜的显向下微结构均匀，电性能较好，典型的剩余极化强度和矫顽场分别为２７．８μＣ·ｃｍ^-2和６５．１ｋＶ·ｃｍ^-1． 关键词：     

高TcBOLOMETER

章给出了高Ｔｃ超导红外探测器的理论分析；器件设计。并报道了用ＧｄＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ薄膜制备的红外探测器的实验结果。得到的最好结果是噪声等效功率ＮＥＰ（５００，１０，１）＝１．４×１０＾－１１ＷＨｚ＾－１／２；探测率Ｄ＾＊（５００，１０，１）４．２×１０＾９ｃｍＨｚ＾１／２Ｗ＾－１；响应度Ｒｖ＝１０６５Ｖ／Ｗ。     

乙烯基吡咯烷酮—醛酸乙烯酯共聚物对1—苯胺基萘—8—磺酸盐水溶液的荧光...

将荧光探针１－苯胺基萘－８－磺酸盐（ＡＮＳ）加入到乙烯基吡咯烷酮（ＶＰ）－醋酸乙烯酯（ＶＡＣ）共聚物溶液中，共聚物组成分别为ＦＶＰ＝０．８４；０．７４；０．７０；０．５５（以乙烯基吡咯烷酮结构单元的分子数表示）。实验结果表明：ＶＰ－ＶＡＣ共聚物对ＡＮＳ水溶液的荧光强度增强效应与共聚物中乙烯基吡咯烷酮在逻节中的比例有关，其组成为ＦＶＰ＝０．５５的共聚物对ＡＮＳ水溶液有显著的荧光增强效应，相对荧光强度     

电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积

本文叙述了电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积（ＥＣＲＰＣＶＤ）的工作原理、特点及其应用．ＥＣＲＰＣＶ Ｄ由放电室、淀积室、微波系统、磁场线圈、气路与真空系统组成．处于放电室的等离子体在磁场中做回旋运动，使电子的回旋运动频率与微波频率相同；处于回旋共振条件下的电子有效地吸收微波功率而获得高的能量，从而产生高活性和高密度的等离子体．电离度大于１０％，电子密度为１０１３ｃｍ３．ＥＣＲＰＣＶＤ可在低的气体流量、衬底不加热的情况下高速淀积高质量薄膜．以该技术淀积的Ｓｉ，Ｎ４，ＳｉＯ２薄膜可分别与高温ＣＶＤ的Ｓｉ３Ｎ４高温热氧化的ＳｉＯ２相比拟．ＥＣＲＰＣＶＤ淀积ａ－Ｓｉ：Ｈ淀积速率为通常ＣＶＤ的２０倍，而性能与射频ＣＶＤ淀积的ａ－Ｓｉ：Ｈ相当．ＥＣＲＰＣＶＤ 已成功用于淀积多种薄膜。     

CCD探测器在可擦除光存储实验中的应用

本文利用ＣＣＤ作为光探测器采集和测量可擦除光存储实验中连续变化的衍射信号,对用ＣＣＤ进行实时动态信号的测量原理和特点做了探讨,并设计了一套ＣＣＤ探测装置用于采集、显示和分析甲基红偶氮染料掺杂的聚乙烯醇（ＭＲ／ＰＶＡ）和酸化甲基红偶氮染料掺杂的聚乙烯醇（ＡＭＲ／ＰＶＡ）薄膜材料的光存储数据该装置操作简单,结果直观,具有较高的测量速度和测量精度,适于动态光信号测量。     

光-CVD技术的最新进展及其应用

采用光诱导激励化学反应气氛淀积成固态薄膜，是近些年来在国际上发展极为迅速的一种薄膜生长新技术．本文介绍了光－ＣＶＤ技术的基本原理及特性，以及用该技术淀积各种类型金属薄膜、半导体薄膜、绝缘性薄膜以及ш－ｖ族化合物半导体薄膜.介绍了光－ＣＶＤ技术在大规模集成电路、硅器件微加工过程中的重要应用，用光－ＣＶＤ技术在低到～２００℃温度下已成功地制备出～１００ｎｍ厚的薄层外延单晶硅膜．     

物理气相沉积技术在建筑装饰材料中的应用

通过对真空蒸发、磁控溅射、多弧离子镀等一些典型物理气相沉积法（ＰＶＤ）的介绍，阐述了它在建筑装饰材料这一新兴领域中的应用，对装饰材料常用的膜系及其制备特点作了简单介绍．     

新型物理喷束淀积技术制备富勒烯薄膜

建立了一套新型物理喷束淀积装置，并且成功地进行了薄膜制备工作，所制备的薄膜包括Ｃ６０，Ｃ７０，ＰＶＫ，ＰＶＫ／Ｃ６０等薄膜，并测量了物理喷束淀积技术制备得的Ｃ６０薄膜，ＰＶＫ／Ｃ６０混合膜的吸收光谱，荧光光谱，时间分辨率荧光光谱，与Ｃ６０等薄膜的高真空蒸发膜的相应光谱进行了比较，结果表明，物理喷束淀积可以制备具有很好质量的高抗光损伤薄膜，薄膜的荧光衰减特性与蒸发膜有很大差别。采用该法制备的ＰＶＫ／     

Gelfand-Dickey算子分解,B cklund-Darboux变换及对称

利用ＧｅｌｆａｎｄＤｉｃｋｅｙ算子的分解导出了ＧＫｄＶ方程的ｎ个ＢｃｋｌｕｎｄＤａｒｂｏｕｘ（ＢＤ）变换及对应的对称的精确形式．这一结果推广了Ｌｏｕ等最近关于ＫｄＶ,ＫａｄｏｍｔｓｅｖＰｅｔｖｉａｓｈｖｉｌｌｉ（ＫＰ）等方程的ＢＤ变换同非局所对称性的结果．作为副产品同时给出ＧｅｎｅｒａｌｉｚｅｄＫｄＶ方程的行列式形式解．ＰＡＣＣ：０３４０Ｋ１　引言ＢｃｋｌｕｎｄＤａｒｂｏｕｘ（ＢＤ）变换是（偏）微分方程的一种对称变换,能连接同一方程的不同解或不同方程间的解,其最大用途是可以直接构造…     

KH_2PO_4和（CH_3NHCH_2COOH）_3CaCl_2在高压下的状

在活塞圆筒式Ｐ～Ｖ关系测量装置上，研究了ＫＨ＿２ＰＯ＿４（ＫＤＰ）和（ＣＨ＿３ＮＨＣＨ＿２ＣＯ－ＯＨ）＿３ＣａＣＩ＿２［Ｔｒｉｓ－ｓａｒｃｏｓｉｎｅｃａｌｃｉｕｍｃｈｌｏｒｉｄｅ（ＴＳＣＣ）］在室温下、４．５ＧＰａ内的ｐ～Ｖ关系。实验结果表明：ＫＤＰ在２．１ＧＰａ左右有一个相变；ＴＳＣＣ在０．８ＧＰａ和３．２ＧＰａ左右各有一个相变。本工作还给出了它们在相变前后的状态方程，以及它们的格临爱森参数γＯ、体积模量Ｂ＿ｏ和Ｂ＿ｏ的压力导数Ｂ＿ｏ。     

H2和CO在Pd（110）上的吸附和共吸附

应用ＸＰＳ，ＵＰＳ，ＬＥＥＤ和ＴＤ研究了ＣＯ和Ｈ２在Ｐｄ（１１０）上在室温下的吸附与并吸附。ＣＯ在Ｐｄ（１１０）上随暴露量增加至饱和，吸附位由β１态向β２态变化，相应的ＸＰＳＣ（１ｓ）峰由２８５．３ｅＶ向高结合能方向位移至２８５．７ｅＶ。     

PUSHING THE ENVELOPE IN RAMAN SPECTROSCOPY

ＰＵＳＨＩＮＧＴＨＥＥＮＶＥＬＯＰＥＩＮＲＡＭＡＮＳＰＥＣＴＲＯＳＣＯＰＹＧ．Ｄ．Ｐｉｔｔ（ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＬｅｅｄｓａｎｄＲｅｎｉｓｈａｗｐｌｃＵ．Ｋ）ＮｅｗｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｈａｖｅｂｅｅｎｄｅｖｅｌｏｐｅｄｆｏｒＵＶＲａｍａｎｍｉｃｒ...     

乙烯基吡咯烷酮－醋酸乙烯酯共聚物对1－苯胺基萘－8－磺酸盐水溶液的荧光特性的影响

将荧光探针１－苯胺基萘－８－磺酸盐（ＡＮＳ）加入到乙烯基吡咯烷酮（ＶＰ）－醋酸乙烯酯（ＶＡＣ）共聚物溶液中，共聚物组成分别为ＦＶＰ＝０．８４；０．７４；０．７０；０．５５（以乙烯基吡咯烷酮结构单元的分子数表示）。实验结果表明：ＶＰ－ＶＡＣ共聚物对ＡＮＳ水溶液的荧光强度增强效应与共聚物中乙烯基毗咯烷酮在链节中的比例有关，其组成为ＦＶＰ＝０．５５的共聚物对ＡＮＳ水溶液有显著的荧光增强效应，相对荧光强度比ＰＶＰ均聚物大一倍，而其他组成的共聚物／ＡＮＳ溶液的相对荧光强度只与溶液中ＶＰ结构单元的含量有关。这种现象说明接近等分子比的乙烯基吡咯烷酮－醋酸乙烯酯共聚物与ＡＮＳ分子间形成的过渡态结构有利于能量转移，能产生较高的量子收率，可作为电子转移反应能量转移介质。在生化反应中，可模拟酶反应机理，因而有一定的理论意义和实际意义。