| Al液滴在GaAs表面的熟化行为研究 |
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| 引用本文： | 李耳士,黄延彬,郭祥,王一,罗子江,李志宏,蒋冲,丁召.Al液滴在GaAs表面的熟化行为研究[J].人工晶体学报,2020,49(10):1819-1824. |
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| 作者姓名： | 李耳士 黄延彬 郭祥 王一 罗子江 李志宏 蒋冲 丁召 |
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| 作者单位： | 贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳 550025;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳 550025;贵州财经大学信息学院,贵阳 550025 |
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| 基金项目： | (国家自然科学基金);(贵州省科学技术基金) |
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| 摘 要： | 为探究Al液滴在GaAs表面的熟化行为,利用液滴外延法在GaAs衬底表面制备Al液滴.在零As压环境下,通过控制退火时间有效控制Al液滴的生长、成核.结合热力学原理和晶体生长理论对样品形貌变化现象进行物理解释,构建出液滴形貌变化过程中熟化、刻蚀和扩散行为的基本模型.理论计算表明,液滴在熟化行为达到退火239 s的平衡点后,被向下刻蚀和向外扩散两个行为同时消耗.
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| 关 键 词： | 铝液滴 熟化 形貌 液滴外延 |
Ripening Behavior of Al Droplet on GaAs Surface |
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| LI Ershi,HUANG Yanbin,GUO Xiang,WANG Yi,LUO Zijiang,LI Zhihong,JIANG Chong,DING Zhao.Ripening Behavior of Al Droplet on GaAs Surface[J].Journal of Synthetic Crystals,2020,49(10):1819-1824. |
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| Authors: | LI Ershi HUANG Yanbin GUO Xiang WANG Yi LUO Zijiang LI Zhihong JIANG Chong DING Zhao |
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