| 微波等离子体化学气相沉积设备微波系统的仿真优化与验证 |
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| 引用本文： | 王心洋,曹光宇,黄翀.微波等离子体化学气相沉积设备微波系统的仿真优化与验证[J].人工晶体学报,2020,49(10):1896-1903. |
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| 作者姓名： | 王心洋 曹光宇 黄翀 |
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| 作者单位： | 长沙新材料产业研究院有限公司,航天新材料湖南省重点实验室,长沙 410082;北京无线电计量测试研究所,北京 100039;长沙新材料产业研究院有限公司,航天新材料湖南省重点实验室,长沙 410082 |
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| 基金项目： | 长沙市科技计划项目(kq1706091) |
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| 摘 要： | 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法产生的等离子体密度高,材料外延生长过程可控性好且洁净度高,是制备高质量金刚石膜的重要方法.基于谐振腔理论和三维全波电磁场仿真,对MPCVD设备微波系统中谐振腔、模式转换器、样品托等影响微波传输效率及电场分布形态的部件进行设计和优化,并通过对微波传输系统关键参量的测试和监控,研究系统调试变量对金刚石外延生长的影响.基于自研的MPCVD设备,实现较高品质金刚石膜的合成,金刚石有效生长区域为?50 mm圆面,外延生长速度10～25μm/h,单晶样品的表征结果显示合成的金刚石透光率接近理论值,材料的结晶程度良好,氮、硅等杂质含量较低.
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| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 微波系统 谐振腔 金刚石膜 透光率 杂质含量 |
Simulation Optimization and Verification of a Microwave System for Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Device |
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| WANG Xinyang,CAO Guangyu,HUANG Chong.Simulation Optimization and Verification of a Microwave System for Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Device[J].Journal of Synthetic Crystals,2020,49(10):1896-1903. |
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| Authors: | WANG Xinyang CAO Guangyu HUANG Chong |
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