| 减压扩散高阻密栅技术应用研究 |
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| 引用本文： | 汪已琳,任哲,赵志然,张威.减压扩散高阻密栅技术应用研究[J].人工晶体学报,2018,47(12):2659-2662. |
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| 作者姓名： | 汪已琳 任哲 赵志然 张威 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410000 |
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| 基金项目： | 智能制造综合标准化与新模式应用 |
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| 摘 要： | 本文对减压扩散机理及高阻密栅技术作了详细的分析,并就设备及工艺方面的关键技术进行了阐述,最后对减压扩散高方阻工艺及密栅匹配技术电池效率进行了对比分析,有以下结论:(1)减压扩散在工艺优化后,方阻均匀性得到大幅改善,达到3;以内.(2)减压扩散电池效率完全可达到常规产线的水平,且在高阻密栅方面更有优势,可有效提升太阳电池效率.
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| 关 键 词： | 减压扩散 高方阻 密栅技术 |
Study on Decompression Diffusion of High Square Resistance with Dense Grid Technology |
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| WANG Yi-lin,REN Zhe,ZHAO Zhi-ran,ZHANG Wei.Study on Decompression Diffusion of High Square Resistance with Dense Grid Technology[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(12):2659-2662. |
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| Authors: | WANG Yi-lin REN Zhe ZHAO Zhi-ran ZHANG Wei |
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