| 硬质合金球上纳米金刚石膜的形貌与力学性能 |
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| 引用本文： | 张廷飞,芶立,陈虹运.硬质合金球上纳米金刚石膜的形貌与力学性能[J].人工晶体学报,2013,42(6):1016-1020. |
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| 作者姓名： | 张廷飞 芶立 陈虹运 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院,成都,610065 |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积法在直径1～5mm硬质合金球体上沉积了5～20 μm厚的纳米金刚石膜.通过扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对样品的表面形貌、膜厚均匀性和成份进行了表征.沉积膜表面呈现纳米金刚石典型“菜花”结构,晶粒度为10～20 nm,膜厚均匀,表面粗糙度随沉积膜厚度增加而增大.采用纳米压痕仪测试沉积膜硬度和弹性模量,沉积膜硬度接近40 GPa,弹性模量约为500 GPa.
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| 关 键 词： | 固体润滑 纳米金刚石 纳米压痕 |
Mechanical Properties and Morphology of Nanocrystalline Diamond Films on Tungsten Carbide Spheres |
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| ZHANG Ting-fei,GOU Li,CHEN Hong-yun.Mechanical Properties and Morphology of Nanocrystalline Diamond Films on Tungsten Carbide Spheres[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(6):1016-1020. |
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| Authors: | ZHANG Ting-fei GOU Li CHEN Hong-yun |
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