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CdSe波片6~12μm波段增透膜研究
引用本文:杨明,杨辉,张志勇,田文,明仕文,张敏,曾体贤.CdSe波片6~12μm波段增透膜研究[J].人工晶体学报,2020,49(4):576-580.
作者姓名:杨明  杨辉  张志勇  田文  明仕文  张敏  曾体贤
作者单位:西华师范大学物理与空间科学学院,南充 637002;中国科学院国家天文台,北京 100012
基金项目:国家自然科学基金(U1731123);四川省教育厅项目(18ZB0577);四川省科技厅项目(19KPPX0241)
摘    要:采用垂直无籽晶气相升华法生长出直径37 mm的优质硒化镉(CdSe)单晶体,并沿光轴方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚.经研磨和抛光,在2~20μm波段CdSe波片的红外透过率约为70;.为进一步提高波片的透过率,采用Essential-Macleod软件辅助设计方案,选用YF3和ZnS为双层增透膜材料,并获得最佳的膜系厚度.镀膜后的CdSe波片在6~12μm波段透过率达到90;,在10.5μm处的透过率最高,峰值高达99;.

关 键 词:硒化镉波片  增透膜  红外透过率

Study on 6-12 μm Anti-reflection Coating for CdSe Wave Plate
YANG Ming,YANG Hui,ZHANG Zhiyong,TIAN Wen,MING Shiwen,ZHANG Min,ZENG Tixian.Study on 6-12 μm Anti-reflection Coating for CdSe Wave Plate[J].Journal of Synthetic Crystals,2020,49(4):576-580.
Authors:YANG Ming  YANG Hui  ZHANG Zhiyong  TIAN Wen  MING Shiwen  ZHANG Min  ZENG Tixian
Abstract:
Keywords:
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