| 基于玻璃基底的TiO2自清洁减反射薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 王朝勇,董海鹏,路一帆,陈庚阳,孟家旺,王新练,姚宁,马培芳.基于玻璃基底的TiO2自清洁减反射薄膜的研究[J].人工晶体学报,2018,47(2):315-320. |
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| 作者姓名： | 王朝勇 董海鹏 路一帆 陈庚阳 孟家旺 王新练 姚宁 马培芳 |
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| 作者单位： | 河南城建学院数理学院,平顶山,467036;哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;郑州大学物理工程学院,郑州,450052;平顶山市农业科学院,平顶山,467000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61076041);河南省科技攻关项目(172102210106,152102210038) |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射(DMS)技术和能量过滤磁控溅射(EFMS)技术在玻璃基底上制备了TiO2薄膜.用TFC膜系设计软件优化设计了单层和双层减反射薄膜,确定制备工艺参数,根据优化结果分别制备了TiO2构成的单层和双层薄膜.利用SEM、椭偏仪、接触角测定仪和光催化测试系统对薄膜进行了表征和测试.实验结果表明:优化设计的膜层都具有良好的减反射性能,单层和双层薄膜在400~800 nm的平均透射率分别为0.845和0.891.氙灯照射30 min后接触角从61.5°变为28°和8°,后者具有超亲水性.紫外光照下对RhB的降解速率分别为-0.0019 min-1和-0.0034 min-1,具有良好的自清洁性能.单层和双层TiO2薄膜具有自清洁和减反射性能.由高低折射率匹配组成的双层薄膜有较平滑的曲线,光催化降降解性能和亲水性较好.
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| 关 键 词： | TiO2 直流磁控溅射(DMS)技术 自清洁 减反射 |
Study on the TiO2Self-cleaning and Anti-reflective Thin Films on the Glass Substrate |
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| WANG Zhao-yong,DONG Hai-peng,LU Yi-fan,CHEN Geng-yang,MENG Jia-wang,WANG Xin-lian,YAO Ning,MA Pei-fang.Study on the TiO2Self-cleaning and Anti-reflective Thin Films on the Glass Substrate[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(2):315-320. |
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| Authors: | WANG Zhao-yong DONG Hai-peng LU Yi-fan CHEN Geng-yang MENG Jia-wang WANG Xin-lian YAO Ning MA Pei-fang |
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