| 微电子机械系统和流体流动 |
| |
| 引用本文： | Ho.,CM 方新.微电子机械系统和流体流动[J].力学进展,1998,28(2):250-272. |
| |
| 作者姓名： | Ho. CM 方新 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院力学研究所 |
| |
| 摘 要： | 出现于８０年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器．这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）．这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域．另一方面，由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大，在流体流经这些微小机械器件时，表面效应占据了主导地位．为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项．由于它们非常小，气体流动具有很大的Ｋｎｕｄｓｅｎ数，所以边界条件也应加以修正．总之，微电子机械系统（ＭＥＭＳ）不但是一项实用技术，也为流动机理的基础研究提出了许多挑战．
|
| 关 键 词： | 流动控制 微电子机械系统（MEMS） 微转换 |
MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)AND FLUID FLOWS |
| |
| Abstract: | The micromachining technology that emerged in the late 1980s is able to provide micro sized sensors and actuators. These micro transducers can be integrated with signal conditioning and processing circuitry to form micro electro mechanical systems (MEMS) that can perform real time distributed control. This capability opens up new territory for flow control research. However, because of the large surface to volume ratio in micron scale configurations, surface effects dominate the fluid flowing through thes... |
| |
| Keywords: | flow control MEMS micro transducer size effect surface force |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《力学进展》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《力学进展》下载全文 |
