| X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文） |
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| 引用本文： | 张亚超,刘鹏,王晓光,何玲平,陈波.X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）[J].中国光学,2019(3):587-595. |
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| 作者姓名： | 张亚超 刘鹏 王晓光 何玲平 陈波 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.U1631117)~~ |
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| 摘 要： | 研究X射线散射法在软X射线掠入射望远镜反射镜的表面粗糙度测量中的应用。首先,在光滑表面近似和细光束条件下,根据Harvey-Shack表面散射理论得出反射镜的面形仅影响总反射光分布中的镜向部分,对散射部分的影响可以忽略不计;然后设计了X射线散射法测量Wolter-I型软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度的实验方案,并且对引起系统误差的主要因素进行了分析,确定了进行仿真实验时的参数;最后用Zemax对实验方案进行了仿真。在空间频率高于28/mm时,表面粗糙度的仿真测量结果与真值吻合得非常好。本文研究结果显示:在光滑表面近似和细光束条件下,反射镜的面形仅影响表面粗糙度的低频部分的测量准确性,对高频部分测量准确性的影响可以忽略不计,利用X射线散射法可以准确测量软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度。
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| 关 键 词： | 表面散射 粗糙度 功率谱密度 掠入射望远镜 |
Characterizing curved surface roughness of Wolter-I X-ray grazing incidence telescope |
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| ZHANG Ya-chao,LIU Peng,WANG Xiao-guang,HE Ling-ping,CHEN Bo.Characterizing curved surface roughness of Wolter-I X-ray grazing incidence telescope[J].Chinese Optics,2019(3):587-595. |
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| Authors: | ZHANG Ya-chao LIU Peng WANG Xiao-guang HE Ling-ping CHEN Bo |
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| Affiliation: | (Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | ZHANG Ya-chao;LIU Peng;WANG Xiao-guang;HE Ling-ping;CHEN Bo(Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Keywords: | surface scatter roughness power spectral density grazing incidence telescope |
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