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| 压力对纳米金刚石膜生长的影响（英文） | |
| 引用本文： | 胡东平,丰杰.压力对纳米金刚石膜生长的影响（英文）[J].强激光与粒子束,2015(2):194-197. |
| 作者姓名： | 胡东平 丰杰 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 基金项目： | supported by Ultra-Precision Machining Key Laboratories Foundation of CAEP(ZZ13005) |
| 摘 要： | 纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景。纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备。其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳米金刚石膜,而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化。实验通过不同压力下制备金刚石膜,采用扫描电镜进行形貌观察,并通过拉曼光谱确定纳米金刚石结构。实验表明,金刚石膜形态随压力变化而改变,一定压力下生长出纳米金刚石膜,降低压力则晶体颗粒变粗。分析其原因是与氢原子的运动密切相关。 |
| 关 键 词： | 纳米金刚石 压力 化学气相沉积 金刚石膜 |
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