用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布 |
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引用本文: | 刘世杰,吴越,盛康龙,李春瑛.用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布[J].中国物理 C,1989,13(6):481-486. |
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作者姓名: | 刘世杰 吴越 盛康龙 李春瑛 |
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作者单位: | 中国科学院高能物理研究所 北京(刘世杰,吴越),中国科学院上海原子核所 上海(盛康龙),华北光电技术研究所 北京(李春瑛) |
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摘 要: | 利用2.0—2.5MeV 4He 的弹性反冲探测方法,测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布,并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.
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关 键 词: | 弹性反冲探测 红外探测器 氢 分布 |
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