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不同结构绝对光栅尺的误码机制研究
引用本文:韦青海,陈新,刘强,王晗,陈彬,房飞宇.不同结构绝对光栅尺的误码机制研究[J].应用光学,2015,36(1):103.
作者姓名:韦青海  陈新  刘强  王晗  陈彬  房飞宇
作者单位:广东工业大学机电学院广州510006; 广东省微纳加工技术与装备重点实验室广州510006
基金项目:国家自然科学基金(51305084);广东省创新团队资助项目(201001G0104781202);国家自然科学基金-广东省联合基金重点项目(U1134004);广东省微纳加工技术与装备重点实验室开放基金项目(GDMNML2013-O1);广东省重点实验室开放基金项目
摘    要:针对光栅尺具有断电位置复位、无累计误差、高精度优点, 在光学隔振平台上分别建立开放式和封闭式绝对光栅尺实验系统, 绝对光栅尺采用图像识别原理, 以气浮直线电机ArotechABL1500为参考对象, 使用激光干涉仪RENISHAW XL-80校核精度, 研究不同结构绝对光栅尺的误码特点及原因。通过对比实验及研究分析, 表明封闭式绝对尺相对于开放式绝对尺的误码率要高, 开放式绝对式光栅尺的误码率为3%, 封闭式绝对式光栅尺的误码率为8%。

关 键 词:绝对光栅尺  图像识别  开放式  封闭式  误码
收稿时间:2014/8/13

Machine-made bit error mechanism of absolute grating scale in different structures
Wei Qinghai,Chen Xin,Liu Qiang,Wang hang,Chen Bin,Fang Feiyu.Machine-made bit error mechanism of absolute grating scale in different structures[J].Journal of Applied Optics,2015,36(1):103.
Authors:Wei Qinghai  Chen Xin  Liu Qiang  Wang hang  Chen Bin  Fang Feiyu
Abstract:
Keywords:absolute grating ruler  image identification  sealed  unsealed  bit error
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