| 基于自准直原理的紧凑型激光位移传感器光学系统设计 |
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| 引用本文： | 张欣婷,吴倩倩,亢磊.基于自准直原理的紧凑型激光位移传感器光学系统设计[J].应用光学,2023(4):720-725. |
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| 作者姓名： | 张欣婷 吴倩倩 亢磊 |
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| 作者单位： | 1.长春电子科技学院130012;2.中国中车长春轨道客车股份有限公司130062; |
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| 基金项目： | 吉林省科技厅重点科技攻关项目(20150204044G X)。 |
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| 摘 要： | 分析传统直射式和斜射式激光位移传感器的特性，结合两者的优势，设计了一种基于自准直原理的紧凑型激光位移传感器。在结构上，利用直线结构取代了大三角的光路布局，形成自准直式光路结构。引入分光比50%的分束镜，与光轴成45°角放置，将会聚透镜和成像透镜合为一枚，并使聚光镜、分束镜和光电探测器共轴，简化了系统结构，减小了仪器体积，同时，推导了符合自准直原理的Scheimpflug条件。利用光学设计软件Zemax对光学系统进行仿真，系统采用单透镜的结构形式，前表面为Forbes非球面，入瞳直径像质量和系统尺寸均达到最佳。该系统具有测量范围大、分辨力高、结构尺寸小、光能损失小等特点，通过实验与Keyence激光位移传感器比较，该系统能够保证测头分辨力1μm、综合检测精度±2μm的技术指标。
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| 关 键 词： | 光学设计 激光位移传感器 自准直 Scheimpflug条件 紧凑型 |
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