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| 高损伤阈值激光薄膜的制备方法 | |
| 引用本文： | 袁世豪,徐均琪,苏俊宏,卢嘉锡,任森.高损伤阈值激光薄膜的制备方法[J].应用光学,2023(6):1185-1194. |
| 作者姓名： | 袁世豪 徐均琪 苏俊宏 卢嘉锡 任森 |
| 作者单位： | 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（62205263）； |
| 摘 要： | 近年来，随着大功率、高能量激光系统的不断发展，光学薄膜的抗激光能力成为制约激光系统高质量发展的瓶颈之一。基于不同的制备方法及工艺参数会对薄膜的损伤阈值产生重要的影响，就薄膜镀制前、镀制中以及镀制后三个方面对提高损伤阈值的方法进行综述，其中包括膜料优选、膜系设计、溶剂清洗、离子束清理、制备方法、离子束后处理、激光后处理等内容。 |
| 关 键 词： | 光学薄膜 激光损伤阈值 激光系统 沉积方式 |
