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| 脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展 | |
| 引用本文： | 徐红玉,张元冲,宋亚勤,卢秉恒,陈殿云.脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展[J].物理学进展,2011,24(2):152-162. |
| 作者姓名： | 徐红玉 张元冲 宋亚勤 卢秉恒 陈殿云 |
| 作者单位： | 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室;西安 710049 ;河南科技大学建筑工程学院 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室,西安 710049 西安交通大学机械工程学院,西安 710049 河南科技大学建筑工程学院 |
| 摘 要： | 短脉冲激光显微微加工因其具有制作高精度微结构的能力和其在现代微制作技术中的应用,微尺度薄膜热传递的研究受到极大关注,近年来对薄膜结构高频加热的研究迅猛发展。本文对十年来薄膜微尺度热传递的相关研究进展做了简要评述。 |
| 关 键 词： | 短脉冲激光 薄膜热传递 综述 微尺度 研究进展 |
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