固体微/纳米尺度传热理论研究进展 |
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引用本文: | 吕曜,宋青林,夏善红.固体微/纳米尺度传热理论研究进展[J].物理学进展,2011,24(4):424-435. |
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作者姓名: | 吕曜 宋青林 夏善红 |
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作者单位: | 中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室 北京100080 |
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摘 要: | 随着半导体技术的飞速发展,器件的尺寸已进入到微/纳米尺度。由于量子效应、表面及界面效应,使得微尺度下的热物性与宏观尺度下有了明显的区别。人们针对微观传热领域的特点,发展了声子玻尔兹曼传输方程、分子动力学等方法,取得了一定的成果,但仍存在不少问题。一些基础概念问题,特别是非平衡态下的局域温度的定义,有待澄清。本文主要回顾近年来微/纳米尺度传热在理论和数值模拟方面的进展,以及目前所面临的挑战和问题。
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关 键 词: | 微/纳米尺度 热导率 声子玻尔兹曼传输方程 分子动力学 |
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