| 增强型Cascode结构氮化镓功率器件的高能质子辐射效应研究 |
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| 引用本文： | 白如雪,郭红霞,张鸿,王迪,张凤祁,潘霄宇,马武英,胡嘉文,刘益维,杨业,吕伟,王忠明.增强型Cascode结构氮化镓功率器件的高能质子辐射效应研究[J].物理学报,2023(1):63-69. |
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| 作者姓名： | 白如雪 郭红霞 张鸿 王迪 张凤祁 潘霄宇 马武英 胡嘉文 刘益维 杨业 吕伟 王忠明 |
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| 作者单位： | 1. 湘潭大学材料与工程学院;2. 西北核技术研究所 |
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| 摘 要： | 针对增强型共栅共源(Cascode)级联结构和耗尽型AlGaN/GaN功率器件,利用60 MeV能量质子开展辐射效应研究.获得了经质子辐照后器件电学性能的退化规律,并与常规耗尽型HEMTs器件辐照后的电学性能进行了比较,发现增强型Cascode结构器件对质子辐照更加敏感,分析认为级联硅基MOS管的存在是其对质子辐照敏感的主要原因.质子辐照使硅基MOS管栅氧化层产生大量净的正电荷,诱导发生电离损伤效应,使其出现阈值电压负向漂移及栅泄漏电流增大等现象.利用等效(60 MeV能量质子,累积注量1×1012 p/cm2)剂量的60Co γ射线辐射器件得到电离损伤效应结果,发现器件的电学性能退化规律与60 MeV能量质子辐照后的退化规律一致.通过蒙特卡罗模拟得到质子入射在Cascode型器件内诱导产生的电离能损和非电离能损,模拟结果表明电离能损是导致器件性能退化的主要原因.
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| 关 键 词： | 增强型AlGaN/GaNHEMT 质子辐照 电离能损 |
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