| 纳秒级脉冲激光诱导Zn掺杂过程中GaN/Al2O3 材料的温度分布及热形变解析分析 |
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| 引用本文： | 黄生荣,陈朝.纳秒级脉冲激光诱导Zn掺杂过程中GaN/Al2O3 材料的温度分布及热形变解析分析[J].物理学报,2007,56(8). |
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| 作者姓名： | 黄生荣 陈朝 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 分析了纳秒级脉冲激光作用下GaN的激光诱导Zn的掺杂过程.利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了GaN材料表面温度与激光辐照时间的关系以及材料形变与深度的关系.在激光脉冲作用时,GaN材料表面的温度与辐照时间的平方根成正比.脉冲过后,材料温度分布梯度和热形变分布随深度发生变化,接近表面的温度梯度最大,热形变量也最大.而在连续脉冲作用时表面的温度呈锯齿状不断升高.
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| 关 键 词： | 激光诱导 温度分布 热形变 |
Analytical calculation of temperature distribution and thermal deformation during doping of Zn in GaN/Al2O3 material induced by nanosecond pulse-width laser |
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| Huang Sheng-Rong,Chen Chao.Analytical calculation of temperature distribution and thermal deformation during doping of Zn in GaN/Al2O3 material induced by nanosecond pulse-width laser[J].Acta Physica Sinica,2007,56(8). |
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| Authors: | Huang Sheng-Rong Chen Chao |
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| Keywords: | GaN/Al2O3 |
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