| VO_2/AZO复合薄膜的制备及其光电特性研究 |
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| 引用本文： | 袁文瑞,李毅,王晓华,郑鸿柱,陈少娟,陈建坤,孙瑶,唐佳茵,刘飞,郝如龙,方宝英,肖寒.VO_2/AZO复合薄膜的制备及其光电特性研究[J].物理学报,2014(21):395-402. |
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| 作者姓名： | 袁文瑞 李毅 王晓华 郑鸿柱 陈少娟 陈建坤 孙瑶 唐佳茵 刘飞 郝如龙 方宝英 肖寒 |
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| 作者单位： | 上海理工大学光电信息与计算机工程学院;上海市现代光学系统重点实验室;上海电力学院计算机与信息工程学院 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)项目(批准号:2006AA03Z348);教育部科学技术研究重点项目(批准号:207033);上海市科学技术委员会科技攻关计划项目(批准号:06DZ11415);上海市教育委员会科技创新重点项目(批准号:10ZZ94);上海领军人才培养计划资助项目(批准号:2011-026)资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射和后退火氧化的方法在掺铝氧化锌(AZO)导电玻璃上制备了二氧化钒(VO2)薄膜,研究了不同的退火温度、退火时间对VO2/AZO复合薄膜制备的影响,并对复合薄膜的结构、组分、光电特性进行了测试与分析.结果表明,导电玻璃上的AZO没有改变VO2的取向生长,但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征.与用相同工艺和条件在普通玻璃基底上制备的VO2薄膜相比,VO2/AZO复合薄膜的相变温度降低约25?C,热滞回线宽度收窄至6?C,相变前后可见光透过率均在50%以上,1500 nm处红外透过率约为55%和21%,电阻率变化达3个数量级.该复合薄膜表面平滑致密,制备工艺简单,性能稳定,可应用于新型光电器件.
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| 关 键 词： | VO AZO 热致相变 光电特性 |
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