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FeCoB-SiO2磁性纳米颗粒膜的微波电磁特性
引用本文:邓联文,江建军,冯则坤,张秀成,何华辉.FeCoB-SiO2磁性纳米颗粒膜的微波电磁特性[J].物理学报,2004,53(12).
作者姓名:邓联文  江建军  冯则坤  张秀成  何华辉
作者单位:华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074
基金项目:国家自然科学基金 (批准号 :5 0 3 710 2 9)资助的课题~~
摘    要:采用交替沉积磁控溅射工艺制备了超薄多层的FeCoB SiO2 磁性纳米颗粒膜 .利用x射线衍射仪、扫描探针显微镜、透射电子显微镜分析了薄膜的微结构和形貌特征 .采用振动样品磁强计、四探针法、微波矢量分析仪及谐振腔法测量薄膜试样的磁电性能和微波复磁导率 .重点对SiO2 介质相含量、薄膜微结构对电磁性能产生重要影响的机理做了分析和探讨 .结果表明 :这类FeCoB SiO2 磁性纳米颗粒膜具有良好的软磁性能和高频电磁性能 ,2GHz时的磁导率 μ′高于 70 ,可以应用于高频微磁器件或微波吸收材料的设计

关 键 词:磁性纳米颗粒膜  高频特性  复磁导率  磁控溅射

Microwave electromagnetic characteristics of FeCoB-SiO2 nano-granular magnetic films
Deng Lian-Wen,Jiang Jian-jun,FENG Ze-kun,ZHANG Xiu-cheng,HE Hua-hui.Microwave electromagnetic characteristics of FeCoB-SiO2 nano-granular magnetic films[J].Acta Physica Sinica,2004,53(12).
Authors:Deng Lian-Wen  Jiang Jian-jun  FENG Ze-kun  ZHANG Xiu-cheng  HE Hua-hui
Abstract:
Keywords:nano-granular magnetic film  high frequency characteristic  complex permeability  magnetron sputtering
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