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溶胶-凝胶方法制备ZrO2及聚合物掺杂ZrO2单层光学增反射膜
引用本文:梁丽萍,徐耀,张磊,吴东,孙予罕,李志宏,吴忠华.溶胶-凝胶方法制备ZrO2及聚合物掺杂ZrO2单层光学增反射膜[J].物理学报,2006,55(8).
作者姓名:梁丽萍  徐耀  张磊  吴东  孙予罕  李志宏  吴忠华
摘    要:以丙醇锆(Zr(OPr)4)为原料,乙酸(HAc)为络合剂,聚乙二醇(PEG200)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为大分子添加剂,在乙醇体系中成功合成了ZrO2及聚合物掺杂ZrO2溶胶.用旋涂法在K9玻璃基片上制备单层光学增反射膜.借助小角X射线散射和激光动态光散射技术研究胶体的微结构.采用傅里叶变换红外光谱、差示扫描量热分析、X射线衍射分析、原子力显微镜、紫外/可见/近红外透射光谱以及椭偏仪对薄膜的结构和光学性能进行表征.用输出波长为1064 nm的强激光,采用"R/1"模式测试薄膜的抗激光损伤性能.研究发现,改变体系中HAc和H2O的量,可以方便地调节HAc配合反应和H2O分子亲核取代反应发生的概率,从而调控溶胶的稳定性与微结构.在HAc和H2O量配置适当的情况下,原位引入适量的PEG200和PVP可以明显修饰溶胶-凝胶过程,提高溶胶稳定性,促进胶粒之间相互联结成均匀的网络状结构.与溶胶的微结构密切相关,添加PEG200和PVP的薄膜具有更加平整的表面,而膜层均匀的结构及网络状特征赋予薄膜良好的抗激光损伤性能.添加质量分数为10% PEG200和15% PVP的聚合物掺杂ZrO2薄膜,激光损伤阈值可达24.5 J/cm2(脉冲宽度为1 ns);在中心波长λ0处,由反射引起的透射率降低约为2%,显示良好的增反射性能.

关 键 词:二氧化锆  溶胶-凝胶  增反射膜  激光损伤

Sol-gel processing of ZrO2 and polymer doped-ZrO2 monolayer reflective films with high laser damage threshold
Liang Li-Ping,Xu Yao,Zhang Lei,Wu Dong,Sun Yu-Han,Li Zhi-Hong,Wu Zhong-Hua.Sol-gel processing of ZrO2 and polymer doped-ZrO2 monolayer reflective films with high laser damage threshold[J].Acta Physica Sinica,2006,55(8).
Authors:Liang Li-Ping  Xu Yao  Zhang Lei  Wu Dong  Sun Yu-Han  Li Zhi-Hong  Wu Zhong-Hua
Abstract:
Keywords:
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