| 多孔阳极氧化物的形成效率与纳米孔道的形成机理 |
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| 引用本文： | 朱绪飞,韩华,宋晔,马宏图,戚卫星,路超,徐辰.多孔阳极氧化物的形成效率与纳米孔道的形成机理[J].物理学报,2012,61(22):504-516. |
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| 作者姓名： | 朱绪飞 韩华 宋晔 马宏图 戚卫星 路超 徐辰 |
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| 作者单位： | 1. 南京理工大学软化学与功能材料教育部重点实验室,南京,210094
2. 中国科学院自动化研究所国家专用集成电路设计工程技术研究中心,北京,100190 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:61171043,51077072);国家科技重大专项资金(批准号:2009ZX01021-002)资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 多孔型阳极氧化铝（PAA）和多孔阳极氧化钛纳米管因其在诸多领域的广泛应用而备受关注．然而这类多孔阳极氧化物中纳米孔道的形成机理至今还不清楚，阳极氧化过程中电流一时间曲线与多孔形貌之间的关系至今无法解释．本文从致密型阳极氧化铝（CAA）的击穿机理入手，详细对比了CAA和PAA形成过程的区别与内在联系，从两种氧化膜电流．时间曲线（或电压一时间曲线）的分界点这个全新视角入手，找出了阳极氧化过程中氧化物形成效率下降的本质原因是电子电流的产生和氧气的析出．在CAA中球形孔洞的证据充分说明初期的规则孔洞是氧气气泡形成的．铝在混合电解液中阳极氧化的结果表明，一旦氧气析出停止，孔道生长就停止并被致密型的氧化物覆盖，一种新型的复合型氧化膜由此而得．最终结果表明：在PAN的形成过程中，适当的电子电流是氧气析出和孔洞形成的保证，适当的离子电流是氧化物形成和孔壁生长的保证．
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| 关 键 词： | 阳极氧化 多孔型阳极氧化铝 电子电流 纳米多孔材料 |
Forming efficiency of porous anodic oxide and formation mechanism of nanopores |
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| Zhu Xu-Fei,Han Hua,Song Ye,Ma Hong-Tu,Qi Wei-Xing,Lu Chao,Xu Chen.Forming efficiency of porous anodic oxide and formation mechanism of nanopores[J].Acta Physica Sinica,2012,61(22):504-516. |
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| Authors: | Zhu Xu-Fei Han Hua Song Ye Ma Hong-Tu Qi Wei-Xing Lu Chao Xu Chen |
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| Affiliation: | 1)1) ( Key Laboratory of Soft Chemistry and Functional Materials, Ministry of Education, Nanjing University of Science & Technology, Nanjing 210094, China ) 2) ( National Engineering and Technology Research Center for ASIC Design, Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China ) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | anodization porous anodic alumina (PAA) electronic current nanoporous materials |
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