沉积在α-Al_2O_3分形基底上Ag薄膜的特性 |
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引用本文: | 许宇庆,叶高翔,王劲松,陶向明,张其瑞.沉积在α-Al_2O_3分形基底上Ag薄膜的特性[J].物理学报,1994(7). |
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作者姓名: | 许宇庆 叶高翔 王劲松 陶向明 张其瑞 |
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作者单位: | 浙江大学物理系,杭州大学物理系 |
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摘 要: | 报道了采用磁控溅射法在α-Al_2O_3分形基底上沉积Ag薄膜表面的形貌、结晶状态以及其V-I特性.结果表明:分形的Al_2O_3基底导致Ag薄膜具有起伏不平的结构、较差的结晶状态并且存在大量的孔洞,它们同样受基底温度和薄膜厚度的影响.在一定的厚度范围内,Ag薄膜呈现反常的非线性I(V)特性,其行为也受薄膜厚度、基底温度和测试环境的强烈影响.
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