| 射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究 |
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| 引用本文： | Gao Fei,毛明,Ding Zhen-Feng,王友年.射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究[J].物理学报,2008,57(8). |
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| 作者姓名： | Gao Fei 毛明 Ding Zhen-Feng 王友年 |
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| 摘 要： | 分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加先迅速上升而后缓慢下降.在不同的放电气压下,电子密度随N2含量的增加迅速下降.数值模拟结果与Langmuir探针测量结果趋势一致.
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| 关 键 词： | 感应耦合等离子体 Ar-N2混合气体放电 电子能量分布 Langmuir探针 |
Langmuir probe measurement and theoretical studies on inductively coupled plasma in Ar-N2 discharge |
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| Gao Fei,Mao Ming,Ding Zhen-Feng,Wang You-Nian.Langmuir probe measurement and theoretical studies on inductively coupled plasma in Ar-N2 discharge[J].Acta Physica Sinica,2008,57(8). |
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| Authors: | Gao Fei Mao Ming Ding Zhen-Feng Wang You-Nian |
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