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Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理
引用本文:池凌飞,林揆训,姚若河,林璇英,余楚迎,余云鹏.Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理[J].物理学报,2001,50(7):1313-1318.
作者姓名:池凌飞  林揆训  姚若河  林璇英  余楚迎  余云鹏
作者单位:池凌飞(汕头大学物理系,汕头 515063)       林揆训(汕头大学物理系,汕头 515063)       姚若河(汕头大学物理系,汕头 515063)       林璇英(汕头大学物理系,汕头 515063)       余楚迎(汕头大学物理系,汕头 515063)       余云鹏(汕头大学物理系,汕头 515063)
基金项目:国家自然科学基金(批准号:19875033)资助的课题.
摘    要:Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.

关 键 词:Langmuir探针    二次微商    数值滤波    微分电路
修稿时间:2000年10月15

Diagnostic of RF Plasma by Using Langmuir Probe and Its Numerical Processing
Abstract:
Keywords:
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