Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理 |
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引用本文: | 池凌飞,林揆训,姚若河,林璇英,余楚迎,余云鹏.Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理[J].物理学报,2001,50(7):1313-1318. |
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作者姓名: | 池凌飞 林揆训 姚若河 林璇英 余楚迎 余云鹏 |
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作者单位: | 池凌飞(汕头大学物理系,汕头 515063)
林揆训(汕头大学物理系,汕头 515063)
姚若河(汕头大学物理系,汕头 515063)
林璇英(汕头大学物理系,汕头 515063)
余楚迎(汕头大学物理系,汕头 515063)
余云鹏(汕头大学物理系,汕头 515063) |
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基金项目: | 国家自然科学基金(批准号:19875033)资助的课题. |
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摘 要: | Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段.报道了在氩气射顿(13.56MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断,对探针I-V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理,而后求二次微商.在相同的放电条件下,使用自行设计的微分电路,对探针特性二次微商进行在线测量.这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合.
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关 键 词: | Langmuir探针 二次微商 数值滤波 微分电路 |
修稿时间: | 2000年10月15 |
Diagnostic of RF Plasma by Using Langmuir Probe and Its Numerical Processing |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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