| TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析 |
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| 引用本文： | 张晨辉,雒建斌,李文治,陈大融.TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析[J].物理学报,2004,53(1). |
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| 作者姓名： | 张晨辉 雒建斌 李文治 陈大融 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 使用x射线衍射(XRD)、x射线光电子谱(XPS)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和原子力显微镜(AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1-xSixNy纳米复合薄膜的微观结构.实验分析证明Ti1-xSixNy薄膜是由直径为3-5nm的纳米晶TiN和非晶Si3N4相构成,并且Ti1-xSixNy薄膜的表面粗糙度小于相同条件下制备的TiN薄膜,在Ti1-xSixNy薄膜体系的自由能中引入界面能的概念,在此基础上分析了体系中TiN晶粒的取向问题.
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| 关 键 词： | 纳米复合薄膜 自由能 表面粗糙度 TiN Ti1-xSixNy |
The study on the microstructure of TiN and Ti1-xSixNy coatings |
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