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N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究
引用本文:满宝元,张运海,吕国华,刘爱华,张庆刚,L.Guzman,M.Adami,A.Miotello.N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究[J].物理学报,2005,54(2).
作者姓名:满宝元  张运海  吕国华  刘爱华  张庆刚  L.Guzman  M.Adami  A.Miotello
基金项目:中国科学院资助项目,教育部科学技术研究项目,教育部留学回国人员科研启动基金
摘    要:在剂量为1×1014-1×1017ions/cm2的范围内,在不同的温度条件下,用能量为160keV氮离子对PTFE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅里叶红外(1064nm)拉曼(Raman)光谱以及扫描电镜和x射线能谱仪进行检测.实验结果表明低剂量注入可以增强PTFE晶体结构的取向和有序性;中等剂量时溅射损失效应明显,表面粗糙度加大:高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成CC双键,导致表面碳化.另外温度对表面改性效果有很大的影响.刻蚀率和表面的微观结构的变化随着温度的升高而增强.离子注入前,用喷射技术使样品覆盖一层150nm的金膜,薄膜的黏结性和硬度用划痕和透明胶带测试配合扫描电镜进行分析.分析结果表明,黏结性在注入剂量为10\{14\}ions/cm2时明显增强,这个结果与表面亲水性测量结果是一致的.但表面硬度只在温度为180℃时才得到了增强.

关 键 词:离子注入  聚四氟乙烯  表面改性

Study on surface modification of polytetrafluoroethylene by N+ ion implantation
Man Bao-Yuan,Zhang Yun-Hai,Lü Guo-Hua,Liu Ai-Hua,Zhang Qing-Gang,L.Guzman,M.Adami,A.Miotello.Study on surface modification of polytetrafluoroethylene by N+ ion implantation[J].Acta Physica Sinica,2005,54(2).
Authors:Man Bao-Yuan  Zhang Yun-Hai  Lü Guo-Hua  Liu Ai-Hua  Zhang Qing-Gang  LGuzman  MAdami  AMiotello
Abstract:
Keywords:
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