| Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001)量子双环形貌的影响 |
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| 引用本文： | 李志宏,丁召,汤佳伟,王一,罗子江,马明明,黄延彬,张振东,郭祥.Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001)量子双环形貌的影响[J].物理学报,2019(18). |
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| 作者姓名： | 李志宏 丁召 汤佳伟 王一 罗子江 马明明 黄延彬 张振东 郭祥 |
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| 作者单位： | 贵州大学大数据与信息工程学院;半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心;贵州省微纳电子与软件技术重点实验室;贵州财经大学信息学院 |
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| 摘 要： | 采用液滴外延法在GaAs (001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings, CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果发现,随着Ga液滴沉积速率的增加, CQDRs的密度增加,内外环半径均降低.根据成核理论中最大团簇密度和Ga液滴沉积速率之间的关系拟合出临界成核原子数目为5,表明在Ga液滴形成阶段时稳定的Ga原子晶核至少包含5个Ga原子;根据成核理论和拟合结果绘制成核过程状态转化图以深入理解Ga液滴形成过程.相关研究结果对液滴外延法制备密度可控的GaAs同心量子双环具有一定的指导意义.
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