| 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征 |
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| 引用本文： | 李燕,张玉书.集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征[J].发光学报,1998,19(1):80-81. |
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| 作者姓名： | 李燕 张玉书 |
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| 作者单位： | 中国科学院激发态物理开放研究实验室(李燕)，中国科学院长春物理研究所(徐迈)，集成光电子学国家重点联合实验室(张玉书) |
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| 摘 要： | 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征＊李燕徐迈（中国科学院激发态物理开放研究实验室，长春１３００２１）（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）张玉书（集成光电子学国家重点联合实验室，长春１３００２３）ＢｕｒｇｅｒＪＰａｒｉａｕｘＯ（ＣＳＥＭＳｗ...
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| 关 键 词： | 集成光学 光栅 原子力显微镜 亚微米 |
CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC FORCE MICROSCOPE |
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| Li Yan,Xu Mai.CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC FORCE MICROSCOPE[J].Chinese Journal of Luminescence,1998,19(1):80-81. |
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| Authors: | Li Yan Xu Mai |
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| Abstract: | We experimentally demonstrate that AFM can be used as a flexible tool for nondestructive characterisation of all steps of a fabrication sequence of submicrometer gratings for integrated optics without the necessity to specially prepare the samples under test. |
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| Keywords: | integrated optics submicrometer gratings atomic force microscope |
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