| 亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析 |
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| 引用本文： | 郑改革,詹煜,曹焜,徐林华.亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析[J].发光学报,2013,34(7):935-939. |
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| 作者姓名： | 郑改革 詹煜 曹焜 徐林华 |
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| 作者单位： | 南京信息大学物理与光电工程学院,江苏南京,210044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金，南京信息工程大学青年教师科学技术研究与发展计划 |
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| 摘 要： | 利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1μm、占空比为0.2的亚波长金属光栅,利用紫外-可见-近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱。在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项式展开的谱分析法求解常微分方程,计算了该亚波长金属光栅的反射光谱及磁场分布。实验测量结果同矢量衍射理论计算结果都显示,该光栅在近红外、中红外波段具有表面等离子体共振现象。数值计算结果还表明,对于此类亚波长金属光栅,当光栅的深宽比增加时,其反射光谱中会出现更多的反射谷。
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| 关 键 词： | 亚波长金属光栅 纳米压印 表面等离子体 |
Fabrication of Subwavelength Metal Grating and Analysis with Vector Diffraction Theory |
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| ZHENG Gai-ge
,
ZHAN Yu
,
CAO Kun
,
XU Lin-hua.Fabrication of Subwavelength Metal Grating and Analysis with Vector Diffraction Theory[J].Chinese Journal of Luminescence,2013,34(7):935-939. |
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| Authors: | ZHENG Gai-ge ZHAN Yu CAO Kun XU Lin-hua |
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| Affiliation: | (School of Physics and Optoelectronic Engineering,Nanjing University of Information Science and Technology,Nanjing 210044,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | subwavelength metallic gratings nanoimprint surface plasmon |
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