| 范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用 |
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| 引用本文： | 朱俊杰,刘磁辉,林碧霞,谢家纯,傅竹西.范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用[J].发光学报,2004,25(3):317-319. |
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| 作者姓名： | 朱俊杰 刘磁辉 林碧霞 谢家纯 傅竹西 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,物理系;中国科学技术大学,物理系;中国科学院结构分析重点实验室,安徽,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 10 1740 72，5 0 14 2 0 6)，国家自然科学基金重点项目 ( 90 2 0 10 3 8)资助项目 |
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| 摘 要： | 近年来，随着对宽禁带半导体材料，氧化锌薄膜研究的快速发展，对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用，并对初步测量结果作简要的讨论。
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| 关 键 词： | 范德堡方法 ZnO膜薄 欧姆接触 霍尔效应 |
| 文章编号： | 1000-7032(2004)03-0317-03 |
| 修稿时间： | 2003年3月18日 |
Van der Pauw Method in the Test of ZnO Film |
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| ZHU Jun jie ,LIU Ci hui ,LIN Bi xia ,XIE Jia chun ,FU Zhu xi.Van der Pauw Method in the Test of ZnO Film[J].Chinese Journal of Luminescence,2004,25(3):317-319. |
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| Authors: | ZHU Jun jie LIU Ci hui LIN Bi xia XIE Jia chun FU Zhu xi |
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| Affiliation: | ZHU Jun jie 1,LIU Ci hui 1,LIN Bi xia 1,2,XIE Jia chun 2,FU Zhu xi 1,2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Van der Pauw ZnO film ohmic contact Hall effect |
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