| 基于空间光调制器的飞秒并行加工方法研究 |
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| 引用本文： | 胡勇涛,翟中生,吕清花,陈列,娄德元,杨奇彪,Peter Bennett,刘顿.基于空间光调制器的飞秒并行加工方法研究[J].应用光学,2016,37(2):315-320. |
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| 作者姓名： | 胡勇涛 翟中生 吕清花 陈列 娄德元 杨奇彪 Peter Bennett 刘顿 |
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| 作者单位： | 1.湖北工业大学 机械工程学院,湖北 武汉430068; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（11204071,51575164）;国家科技支撑计划（2015BAF20B03）;湖北省自然科学基金（2014CFB596）;湖北省科技支撑计划（2015BAA066） |
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| 摘 要： | 针对飞秒激光微加工中能量利用率和加工效率低的问题，提出一种基于空间光调制器的飞秒并行加工方法。在讨论衍射光栅入射角与衍射角关系的基础上，分析了叠加多个衍射光栅产生多光束的原理，运用GS算法对目标多光束进行优化并计算出相应的相位全息图，将该全息图加载到空间光调制器中获得了多光束。采用脉宽100 fs、波长800 nm的飞秒激光，进行聚焦PMMA样品内部的并行加工实验，观察到PMMA上多点组合的一和工字型，得到了光束能量均匀的图形。实验结果论证了该方法对于多光束并行加工控制的有效性。
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| 关 键 词： | 激光加工 并行加工 空间光调制器 GS算法 多光束 |
| 收稿时间： | 2015-10-10 |
Parallel processing with femtosecond laser using spatial light modulator |
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| Affiliation: | 1.School of Mechanical Engineering,Hubei University of Technology,Wuhan 430068,China;2.School of Science,Hubei University of Technology,Wuhan 430068,China |
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