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| 基于加权最小二乘法的干涉图校准方法 | |
| 作者姓名： | 杨程 韩森 吴泉英 |
| 作者单位： | 1.苏州科技学院 数理学院,江苏 苏州 215009; |
| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项（2013YQ150829）;上海市能力建设创新专项（14140502500） |
| 摘 要： | 针对现有干涉图校准方法的不足,提出了一种基于加权最小二乘法的干涉图校准方法。根据干涉图中标准件边缘与干涉条纹边缘之间的差异,用合适大小的掩模对标准件的边缘进行初步判定和提取,再利用加权最小二乘法对提取出的边缘进行精确定位。通过计算标准件中已知尺寸部分在干涉图中所占据的像素数目,求出每个像素代表的实际距离,完成校准。实验表明,该方法的计算耗时较霍夫变换法减少一半,定位精度小于1个像素,且适用于不同对比度的干涉图,具有很强的实用性。 |
| 关 键 词： | 光学干涉测量 边缘检测 加权最小二乘法 干涉图校准 |
| 收稿时间： | 2015-10-26 |
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