| 自支撑单晶氧化物薄膜的应用研究进展 |
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| 引用本文： | 彭若波,董国华,刘明.自支撑单晶氧化物薄膜的应用研究进展[J].物理学报,2023(9):335-359. |
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| 作者姓名： | 彭若波 董国华 刘明 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院,电子陶瓷与器件教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(批准号:2022YFB3205701)；;国家自然科学基金(批准号:U22A2019,91964109,52002310)； |
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| 摘 要： | 随着柔性电子的迅猛发展,越来越多的新型智能可穿戴电子设备,逐渐改变人们的生活方式.同时,可穿戴器件小型化、柔性化、集成化、低功耗等需求不断提高,对柔性功能材料的要求越来越高,特别是亟需具有丰富功能特性的氧化物薄膜材料.近年来,随着薄膜生长与剥离技术的进步,自支撑单晶氧化物薄膜被开发出来.由于其脱离衬底束缚展现出优异柔性特征的同时,保持了丰富的磁、电、光、热、力等功能,在信息存储、智能传感、生物医疗、能源等领域具有广泛的应用前景.本文从自支撑氧化物薄膜的制备技术出发,展开介绍了基于铁电、压电、铁磁、金属-绝缘体转变等物理效应的晶体管存储器、能量收集、纳米发电机、应变传感器、储能器件及超导等方面的应用.
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| 关 键 词： | 功能氧化物 单晶薄膜 自支撑 柔性电子器件 |
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