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| 300nm×300mm口径电光开关等离子体电极实验研究 | |
| 引用本文： | 吕传信,鲁敬平.300nm×300mm口径电光开关等离子体电极实验研究[J].强激光与粒子束,1997,9(2):271-276. |
| 作者姓名： | 吕传信 鲁敬平 |
| 摘 要： | 设计并实验了３００ｍｍ×３００ｍｍ口径的辉光放电室，利用钮扣阴极和自动预电离条形阴极进行实验，获得了大面积均匀的辉光放电。测量了不同状态下辉光放电的放电延时及等离子电阻。得到了产生大面积均匀辉光放电的最佳条件。 |
| 关 键 词： | 辉光放电 等离子体电极 电光开关 激光器 大口径 |
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