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| 基于外差干涉的微振动测量技术研究 | |
| 引用本文： | 刘丹,郑宾,郭华玲,刘辉,刘乃强.基于外差干涉的微振动测量技术研究[J].应用光学,2014,35(5):858. |
| 作者姓名： | 刘丹 郑宾 郭华玲 刘辉 刘乃强 |
| 作者单位： | 刘丹:中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051 郑宾:中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051中北大学 电子测试技术重点实验室，山西 太原 030051 郭华玲:中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051中北大学 电子测试技术重点实验室，山西 太原 030051 刘辉:中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051 刘乃强:中北大学 信息与通信工程学院，山西 太原 030051 |
| 摘 要： | 针对外差干涉的微振动测量存在稳定性低、严重受环境噪声影响等缺点，提出了对光路的改进方案。根据差分原理将其改为双光路，消除环境噪声的干扰；通过偏振分光棱镜(PBS)将椭圆偏振光变为线偏光，提高干涉信号幅值；改进频移装置(AOM)，抑制频率漂移；增加光阑，滤除杂散光，提高系统信噪比。通过探测5 kHz压电陶瓷振动信号，以及2.5 MHz高频激光超声信号进行实验验证，结果表明：信号稳定且无纹波，系统分辨率为2.3 nm，信噪比提高16.7倍。两路干涉信号幅值分别为552 mV和736 mV，较传统外差干涉信号幅值提高近10倍，有利于纳米量级微振动信号的检测。 |
| 关 键 词： | 微振动测量 外差干涉 激光超声 线偏振光 |
| 收稿时间： | 2014/5/23 |
Micro-vibration measuring technology based on heterodyne interference |
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| Abstract: | |
| Keywords: | measurement for micro-vibration heterodyne interference laser ultrasonic linearly polarized light |
