|
|||||
|
|
| 电介质/半导体结构样品电子束感生电流瞬态特性 | |
| 作者姓名： | 李维勤 霍志胜 蒲红斌 |
| 作者单位： | 西安理工大学自动化与信息工程学院;西安交通大学电子科学与技术系 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:11175140);陕西省自然科学基金(批准号:2019JM-340);西安理工大学科研计划(批准号:2015CX030)资助的课题~~ |
| 摘 要： | 电子束照射下电介质/半导体样品的电子束感生电流(electron beam induced current,EBIC)是其电子显微检测的重要手段.结合数值模拟和实验测量,研究了高能电子束辐照下SiO2/Si薄膜的瞬态EBIC特性.基于Rutherford模型和快二次电子模型研究电子的散射过程,基于电流连续性方程计算电荷... |
| 关 键 词： | 数值模拟 电子束感生电流 俘获 输运 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |