| 微型平面复合薄膜电爆炸开关的设计和研究（英文） |
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| 引用本文： | 胡博,朱朋,沈瑞琪,叶迎华,吴立志,胡艳.微型平面复合薄膜电爆炸开关的设计和研究（英文）[J].强激光与粒子束,2015(2):46-51. |
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| 作者姓名： | 胡博 朱朋 沈瑞琪 叶迎华 吴立志 胡艳 |
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| 作者单位： | 南京理工大学化工学院 |
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| 基金项目： | supported by National Natural Science Foundation of China(51201091) |
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| 摘 要： | 开关技术是影响爆炸箔起爆系统可靠作用、微型化、低能化、集成化的关键技术。电爆炸平面开关是利用强脉冲电流使触发极金属桥箔发生电爆炸,产生高温高压等离子体,使爆炸桥区两侧的电极导通。基于微加工技术,采用Al/CuO复合薄膜材料作为触发电极,设计制造了微型平面复合薄膜电爆炸开关。采用扫描电子显微镜、差示扫描量热法和光谱谱线测温研究了触发极Al/CuO复合薄膜的形貌、反应性和电爆炸等离子体温度,通过放电电流测试研究了开关性能。结果表明,在主回路电压2000V时,开关输出电流峰值约为1938A,上升时间390ns,性能优于仅以铜薄膜为触发电极的电爆炸平面开关。
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| 关 键 词： | 爆炸箔起爆器 反应复合薄膜 微机电集成制造 平面爆炸开关 |
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