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| 激光差动共焦曲率半径测量不确定度评定 | |
| 引用本文： | 王旭,王中宇,赵维谦,邱丽荣. 激光差动共焦曲率半径测量不确定度评定[J]. 应用光学, 2014, 35(1): 155 |
| 作者姓名： | 王旭 王中宇 赵维谦 邱丽荣 |
| 作者单位： | 王旭:北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100191 王中宇:北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100191 赵维谦:北京理工大学 光电学院, 北京 100081 邱丽荣:北京理工大学 光电学院, 北京 100081 |
| 基金项目： | 国家重大仪器专项(2011YQ040136) |
| 摘 要： | 曲率半径是球面光学元件中的重要参数之一，曲率半径的高精度测量已经成为光学元件使用与加工中的一个关键问题。提出了基于差动共焦法的曲率半径测量方法，研制了1套激光差动共焦曲率半径测量系统，并对2组曲率半径测量结果进行不确定度评定。结果表明，2组曲率半径的测量值均与标称值吻合，其相对误差为0001 15%，两组测量数据的标准不确定度均优于3211 11×10-4 mm。 |
| 关 键 词： | 曲率半径 差动共焦系统 测量不确定度 评定 |
| 收稿时间： | 2013-08-19 |
Uncertainty evaluation in laser differential confocal radius-of-curvature measurement |
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| Abstract: | |
| Keywords: | radius of curvature fifferential confocal system measurement uncertainty evaluation |