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| 薄膜结构分析中的低角X射线衍射方法 | |
| 作者姓名： | 邵建达 范正修 |
| 摘 要： | 利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角Ｘ射线衍射谱中出现的一系列现象，导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式，对多层膜的低角射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释，并对低角Ｘ射线衍射测量单层膜厚度进行了分析，给出了精确的测厚公式。 |
| 关 键 词： | 薄膜 结构分析 X射线衍射 |
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