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| 椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究 ITO膜光学常数的色散和生长规律 | |
| 引用本文： | 冯洪安,余玉贞,黄炳忠.椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究 ITO膜光学常数的色散和生长规律[J].物理学报,1986(3). |
| 作者姓名： | 冯洪安 余玉贞 黄炳忠 |
| 作者单位： | 中山大学，中山大学，中山大学 1984年毕业的研究生 |
| 基金项目： | 中国科学院科学基金资助的课题 |
| 摘 要： | 本文提出一个利用椭偏光谱测量复数折射率薄膜的方法。由于引入一个新的目标函数,把搜索的参量空间的维数减至四维,因此不但可以测得薄膜的光学常数和厚度,并且可同时确定衬底的光学常数。我们应用这个方法对射频溅射在硅衬底上生长的ITO膜光学常数的色散和生长规律进行了初步研究,发现硅衬底的表观光学常数也发生了变化 |
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