|
|||||
|
|
| 大气压电晕等离子体射流制备氧化钛薄膜 | |
| 作者姓名： | 孔得霖 杨冰彦 何锋 韩若愚 缪劲松 宋廷鲁 欧阳吉庭 |
| 摘 要： | 大气压等离子体因具有很多独特优势从而在材料制备和表面工艺领域备受关注.本文利用大气压针-板电晕放电等离子体射流制备氧化钛(TiO2)薄膜,研究了电晕极性和放电参数对薄膜特性的影响.实验测试了正负电晕等离子体射流的电学性能、发展过程和发射光谱,并对不同条件下制备的TiO2薄膜进行了表征和分析.结果表明:负电晕等离子体射流... |
| 关 键 词： | 大气压等离子体射流 电晕放电 沉积薄膜 二氧化钛薄膜 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |