| ZnO过渡层对Au/Hg3In2Te6肖特基接触特性的影响研究 |
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| 引用本文： | 刘淙元,傅莉,李亚鹏,王晓珍. ZnO过渡层对Au/Hg3In2Te6肖特基接触特性的影响研究[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(5): 1055-1060 |
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| 作者姓名： | 刘淙元 傅莉 李亚鹏 王晓珍 |
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| 作者单位： | 西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51172185);西北工业大学研究生创业种子基金(Z2013016) |
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| 摘 要： | 利用脉冲激光沉积技术在Hg3In2Te6晶体表面制备ZnO过渡层,并对ZnO过渡层进行了表征.结合X射线光电子能谱深度剖析对ZnO/Hg3In2Te6界面元素的化合态进行研究,并通过半导体参数分析仪对Au/ZnO/Hg3In2Te6肖特基接触电学特性进行测试.研究结果表明,采用本实验条件可在Hg3In2Te6晶体表面获得结晶度高、表面粗糙度低,且沿(002)晶面择优生长的ZnO过渡层.同时,ZnO过渡层的引入使Au/Hg3In2Te6肖特基接触的漏电流降低一个数量级,势垒高度提高6.5;.这种现象可能是由于ZnO/Hg3In2Te6界面存在的互扩散使O原子占据了Hg原子空位,从而降低耗尽层中能级缺陷而引起.
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| 关 键 词： | Au/Hg3In2Te6 ZnO过渡层 肖特基势垒, |
Study on the Effect of ZnO Interlayer on the Au/Hg3In2Te6 Schottky Contact Characteristics |
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| LIU Cong-yuan,FU Li,LI Ya-peng,WANG Xiao-zhen. Study on the Effect of ZnO Interlayer on the Au/Hg3In2Te6 Schottky Contact Characteristics[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(5): 1055-1060 |
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| Authors: | LIU Cong-yuan FU Li LI Ya-peng WANG Xiao-zhen |
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