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人工晶体学报 ›› 2005, Vol. 34 ›› Issue (6): 1056-1058.

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非致冷In0.53Ga0.47 As/InP红外探测器研究

缪国庆;殷景志;金亿鑫;蒋红;张铁民;宋航   

  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,长春,130033
  • 出版日期:2005-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家高技术研究发展计划(863计划)(50132020);国家自然科学基金(50372067)

Study on Uncooled In0.53 Ga0.47As/InP Infrared Detectors

MIAO Guo-qing;YIN Jing-zhi;JIN Yi-xin;JIANG Hong;ZHANG Tie-min;SONG Hang   

  • Online:2005-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 采用LPMOCVD技术生长了InGaAs红外探测器器件结构材料,其晶格失配为2.19×10-4.利用锌扩散制备探测器单元器件,光谱响应范围为0.90~1.70μm,在1.95V偏压下,暗电流为5.75×10-5A,在反向偏压为-5V时,电容为6.96×10-12F.探测器波段探测率为2.08×1011cmHz1/2W-1.

关键词: 金属有机化学气相沉积;铟镓砷;探测器

中图分类号: