硬质合金球上纳米金刚石膜的形貌与力学性能

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (6): 1016-1020.

硬质合金球上纳米金刚石膜的形貌与力学性能

张廷飞;芶立;陈虹运

四川大学材料科学与工程学院,成都,610065

出版日期:2013-06-15 发布日期:2021-01-20

Mechanical Properties and Morphology of Nanocrystalline Diamond Films on Tungsten Carbide Spheres

ZHANG Ting-fei;GOU Li;CHEN Hong-yun

Online:2013-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用微波等离子体化学气相沉积法在直径1～5mm硬质合金球体上沉积了5～20 μm厚的纳米金刚石膜.通过扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对样品的表面形貌、膜厚均匀性和成份进行了表征.沉积膜表面呈现纳米金刚石典型“菜花”结构,晶粒度为10～20 nm,膜厚均匀,表面粗糙度随沉积膜厚度增加而增大.采用纳米压痕仪测试沉积膜硬度和弹性模量,沉积膜硬度接近40 GPa,弹性模量约为500 GPa.

中图分类号:

TB43

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